溶胶-凝胶法制备功能薄膜材料的研究及展望.pdfVIP

第33卷 增刊3 稀有金属材料与工程 、b1．33，Suppl．3 2004年 12月 RAREMETAI，hL啦RIAI，SANDENGⅡ呵EER矾G December2004 溶胶一凝胶法制备功能薄膜材料的研究及展望 杨，辉，缪亚美，丁新更 (浙江大学，浙江杭州3l0027) 摘 要：f材料功能的多元化以及各种元器件的微型化、集成化，导致薄膜的应用领域也就越来越广泛，对薄膜的制备 、 技术的要求就越来越高。本文综述了近来溶胶．凝胶法在光学、电学、耐磨、耐蚀等功能薄膜制备中的研究及展望。j 关键词：溶胶一凝胶法；功能薄膜；综述 174 中图法分类号：TG 文献标识码：A 文章编号：1002-185x(2004)S3-208-06 温度、压强等外界条件的改变，其电学性能发生变化， 1 引 言 从而表现出多种多样的、有实用意义的性质，成为电 现代科技的迅猛发展，高新产品的不断涌现，推 子和光电子技术中的重要材料。介质薄膜按物理效应 动了材料科学的不断发展。新材料、新器件的发展方 分为：电介质薄膜、铁电薄膜、压电薄膜和热释电薄 向日趋微型化，这就要求在亚微米、纳米薄膜的制备 膜等。 技术上有所突破，以及利用亚微米、纳米结构的薄膜 2．1．1 电介质薄膜 制备各种功能器件。目前制备薄膜的方法众多：溅射 电介质薄膜通常是指集成电路和薄膜元器件制造 中所用到的介电薄膜和绝缘体薄膜。其中，介电薄膜 法【11、化学气相沉积法【21、等离子喷涂法[31、溶胶．凝 胶法等。 主要用于各种微型薄膜电容器和各种敏感电容元件， 与其他制备技术相比，溶胶．凝胶法具有：原料 目前，用溶胶．凝胶法已经成功的制备出CO，NO，C02， 各组分可达原子级的均匀混合，可精确控制化学计量 S02等气敏材料。 比；热处理温度可显著降低，基本属于低温过程，热 司士辉，汤平等【4】以正硅酸乙酯为前驱体，盐酸 处理工艺简单、易控制；可通过控制溶胶一凝胶工艺参 催化，用溶胶一凝胶法成功制备出纳米Si02薄膜，将薄 数，实现对材料结构的精确剪裁；且工艺、设备简单 膜浸入氯化钯、氯化铜混合溶液，制得CO气敏薄膜， 等突出的优点。 该薄膜的CO气体临界警报浓度达到6×lO一。 溶胶．凝胶制备薄膜的方法包括浸渍提拉、旋转 法、喷涂法等，所制备的薄膜的结构和性能主要取决 锡溶于乙醇形成溶胶，采用溶胶一凝胶旋涂法在石英晶 于以下几个因素：前驱体材料、组分配比、溶剂材料、 体上沉积出ITO薄膜。该薄膜是很好NO气敏薄膜，5 催化剂种类、用量以及反应时间、温度、热处理条件 min内达到12Hz／0．01％。 等；所制备的薄膜的形状可随基质变化而变化，容易 2．1．2铁电薄膜 形成大面积的均匀薄膜。目前，溶胶．凝胶法制备的薄 铁电薄膜具有良好的铁电性、压电性、热释电性、 膜已经涉及到电学、光学、机械、催化、生物等众多 电光及非线性光学特性等。人们应用溶胶．凝胶法成功 领域。有关溶胶一凝胶法的文献和专门国际会议也在日 地制备出性能优良的铁电薄膜，可以与Si或GaAs电 益增加，已成为材料领域的研究热点和新的增长点。