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溶胶-凝胶法制备外延Ba1-xSrxTiO3薄膜及其结构与性能研究.pdf
第 卷第 期 红外与毫米波学报 ，
21 5 Vol. 21 No.5
年 月 ，
2002 10 j . lnfrared Millim. Waves 0 ctober 2002
溶胶凝胶法制备外延- Ba Sr TiO 薄膜及
1-! ! 3
其结构与性能研究
章天金 王 玮 杨向荣
（湖北大学物理学与电子技术学院，湖北，武汉， ）
430062
摘要 应用溶胶凝胶技术在 （ ）衬底上成功地制备了 外延薄膜 和 分析结果表明：该薄
- Pt!M 0 100 Ba Sr Ti0 . XRD SEM
g 0.65 0.35 3
膜在 气氛中 热处理 后，其（ ）面是沿着 （ ）和 （ ）面外延取向生长的；薄膜表面均匀致密，厚度为
0 650C 1h 001 Pt 100 M 0 100
2 g
，平均晶粒大小为 当测试频率为 时， 薄膜的介电常数和损耗因子分别为 和 介电常数温度
260nm 48.5nm. 10k~Z BST 480 0.02. -
关系测试结果表明： 工艺制备的 薄膜其居里温度在 左右，且在该温度下 薄膜存在
sol- el Ba Sr Ti0 35C Ba Sr Ti0
g 0.65 0.35 3 0.65 0.35 3
扩散铁电相变特征 当外加偏置电压为 时， 薄膜的漏电流密度为 -7 2 该薄膜可作为制备新型非制冷红
. 3V BST 1. 5 10 A!cm .
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