真空阴极弧离子镀类金刚石碳膜Raman光谱研究.pdf

下载文档

8
0
约2.32万字
约 8页
2015-09-11 发布于重庆
举报
版权申诉
保障服务

真空阴极弧离子镀类金刚石碳膜Raman光谱研究.pdf

1、本文档共8页，可阅读全部内容。
2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。

真空阴极弧离子镀类金刚石碳膜Raman光谱研究,raman光谱,raman光谱分析,raman光谱仪,等离子体金刚石,空心阴极离子镀,锂离子电池阴极材料,monocl4阴极光谱仪,等离子体发射光谱仪,等离子体发射光谱

第40卷第2期金属学破 V01．40NO．2 220 ACTAMETALLURGICASINICA Feb．2004 2004午2月 224页 PP．220——224 真空阴极弧离子镀类金刚石碳膜Raman光谱研究李刘合武咏琴崔旭明张海泉张彦华 (北京航空航天人学机械]：程与自动化学院，北京100083) 夏立芳朱剑豪 (哈尔滨I：、№夫学材料学院，哈尔滨150001)(香港城市夫学物理与材料科学系，香港) 摘要分别采用带仃和1；带7r弯fHl弧磁过滤器的真空阴极弧离子镀方法，在不同镀膜电流以及不同基片偏流下分别制备了类金刚fi碳膜，对比r Lorentzion 1：同结构F类金刚行碳膜的Ralp_an光谱特点．对其Raman光谱的D峰和G峰采用Gaussian 的几率分布进iiJ’分峰，并着重讨论了基片偏流、弯曲磁场等沉积参数对膜结构的影响结果表明，氩分压对膜结构影响不大，较大的偏流以及弯曲磁场的加入均有利于sp。杂化碳键的形成关键词 Ranlall光谱，类金刚石碳膜，弯[|{l弧磁过滤器，偏流中图法分类号0484．4，TGll5．33文献标识码A RAMAN SPECTRAoFDIAMoND—LIKE CARBoNFILMS DEPoSITEDBYVACUUM CATHoDICARC L1 Yanhua Liuhe，wUYongqin．CUiXuming。ZHANGHaiquan．ZHANG SchoolofMechanicM and ofAeronauticand EngineeringAutomation，BeijingUniversity 100083 Astronautic，Beijing xlA Lifang Scll001ofMaterialScienceand Instituteof Engineering．Harbin 150001 Technology,Harbin PaulK．ChU of andMaterials Department of TatChee Physics Science，CityUniversityHongKong，83 Avenue，Kowloon，HongKong Correspondent：LILiuhe，associate professor，Tel：(oio)s2s1775s，E-maihLiuhena@vip．sina．com NationalNaturafScienceFoundation Supported by ofChina(No received2003—02—2 Ma．nuscript 1，inrevisedfo