纳米SnO2磨料的制备及其在钌化学机械抛光中的应用.pdfVIP

下载本文档

3
0
约2.68万字
约 5页
2015-09-11 发布于湖北
举报
版权申诉

纳米SnO2磨料的制备及其在钌化学机械抛光中的应用.pdf

1、本文档共5页，可阅读全部内容。
2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

纳米SnO2磨料的制备及其在钌化学机械抛光中的应用.pdf

RareMetaIMateriaIsand AvailabIeOn¨ne EngInee—ng r．I 3 ☆一∥扩 VbIume42，Issue4，Ap201 On¨ne editionoftheChinese EngIish Ianguagejouma Of AbraSiVeSandTheir Nan06n02 PreparatiOn inChemiCaIMeChaniCaIPO¨ShOfRUtheniUm Chu Li Qiao BaiLinshan Xjangfbng，Xjujin，DongYongping， Hongbin， 0f china Anhu|Un．verSity1．echno|ogy，Maanshan243002t abrasiVeswere tlle of Abs打act：Sn02 solid-statereaction锄deff如ttlIe conditionson廿le preparedby prep删ion averagepanicle tllat sizeofSn02 resuhmanifcststlle Sn02 obtainedcalciIl- suspensionw髂inVestigated．The suspensionprepared仔ompowder by at500。Cfor4h mech明ical were on illg h鹊gooddispcrsion柚dgoodstabil崎．CMP(cheIIlicalpolish)expe咖lentSperfo姗ed home-made of她s曲cedecreaSe wim tlighpu衄Ruby slu盯y．The~Ⅱm(material comp眦d re啪ved珊把)and恤rou曲ness tllat Si02 resultsreVealMRRc柏reach6．8舢恤illllllderme conditions：tllemiIlconstimentsin sluny．111e followillg sluny眦1 wt％tanaricacid锄d3mmol／L valueis downforceis17．24 wt％Sn02，1wt％(NH4)2S208，1 ilnidazole，mepH 8．0，tlle kPa；me 4．8哪undertlleseconditions． roughIless忍is mech龃ical Key