- 1、本文档共6页,可阅读全部内容。
- 2、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
查看更多
f=210GHz的超高速InPInGaAs单异质结晶体管.pdf
第29卷第3期 半 导 体 学 报 V01.29No.3
2008年3月 JOURNALOFSEMICONDUCTORS Mar.,2008
21
Ultra SHBTswithof 0GHz
InP/InGaAs ft
High—Speed
Weil,JinZhil”,Liu Anhuai2,andQi
Cheng Xinyul,YuJinyon91,Xu Mingz
100029,China)
(1Institute AcademyofSciences,Be(1ing
ofMicroelectronics,Chinese
Institute 200050,China)
(2 of and Academyo,Sciences,Shanghai
Shanghai MicrosystemInformationTechnology,Chinese
for bi-
and InP/InGaAsheterojunction
Abstract:Polyimidepassivationplanarizationprocesstechniqueshighspeed single
transistors(SHUTS)aremaximum of210GHzisachievedfortheSHBTwith
polar developed.Aextrapolated,t 1.4pm×
area deviceissuitablefor andlow
15扯memitteratycB=1.1Vandlc=33.5mA.This speed powerapplications,such
high
as mixed communicationICs。
ultra circuitsand
highspeed signal optoelectronic
Keywords:InP;HBT;polyimideplanarization
EEACC..2560J
Document Article
CLCnumber:TN385 code:A ID:0253-4177(2008)03-0414.04
can
over-etching
I Introduction
您可能关注的文档
- D-二聚体、P选择素及超敏C反应蛋白联合检测在2型糖尿病肾病中的诊断价值.pdf
- D-二聚体、血管紧张素转换酶及超敏C反应蛋白在老年急性心肌梗死早期诊断中的应用.pdf
- D-二聚体及超敏C反应蛋白对创伤后颅内进展性出血性损伤的诊断价值.pdf
- D-二聚体和超敏C反应蛋白在老年进展性脑梗死患者病情评估中的应用.pdf
- D-二聚体检测与彩色多普勒超声对骨折患者下肢深静脉血栓的诊断价值.pdf
- DAI后神经元钙离子超载机制的研究现状及进展.pdf
- Db复小波在超高频局部放电测量中的应用.pdf
- DC-SC光阴极注入器的束载实验的调试进展.pdf
- DEH压力限制对超超临界机组甩负荷的影响.pdf
- Dennis-Wolkowicz最小改变割线算法的超线性收敛性.pdf
文档评论(0)