Nd∶YAG晶体板条低透射波前误差加工技术.pdf

第27卷第6期 强 激 光 与 粒 子 束 V01．27，No．6 HIGH 2015年6月 POWERLASERANDPARTICLEBEAMS Jun．，2015 Nd：YAG晶体板条低透射波前误差加工技术+ 赵世杰， 谢瑞清， 廖德锋， 陈贤华， 王 健 (成都精密光学工程研究中心，成都610041) 摘要： 针对高平均功率固体激光器对Nd：YAG晶体板条的技术需求，进行了Nd：YAG晶体板条低透 射波前误差加工技术研究。详细分析了光学加工过程中引起板条端面透射波前畸变的误差来源，并提出工艺 技术解决方案。实验结果表明，在板条抛光阶段通过采用合成盘硬抛光工艺以及新的工件装夹技术，能够解决 传统板条加工工艺在面形及楔角精度方面可控性差的问题，更容易实现Nd：YAG晶体板条的低透射波前误差 mm×30mm×2．5 加工。对于150 mm规格的Nd：YAG晶体板条元件，端面透射波前畸变PV值达到0．742。 关键词：Nd：YAG晶体；板条；透射波前；光学加工；抛光 中图分类号：TQl71．73 文献标志码： A doi：10．11884／HPLPB201527．062010 板条激光器是高功率全固态激光的一个重要发展方向。透射波前畸变是困扰板条激光器进一步发展的关 键因素口。3]。围绕板条激光器的输出光束质量提高及性能优化，目前的研究主要集中在板条热效应模拟、波前 输出激光的质量有重要影响。随着固体激光器技术的发展，Nd：YAG晶体板条的加工精度与质量已成为激光 器性能提升的一大瓶颈。目前，基于单轴／两轴机或环抛机的传统工艺在加工精度和质量指标方面与高性能激 mm×30mm 本文分析了透射波前误差的来源，提出了一种激光晶体板条低透射波前误差加工技术，并对150 ×2．5mm规格的Nd：YAG晶体板条进行了超精密加工实验验证。 1 原理分析 I．I 板条透射波前分析 图1为典型YAG板条激光器的工作原理示意图[5]。当激光沿板条长度方向传输时，激光束首先在前端面 处发生折射，进入板条内部，激光束在板条内部经过多次全反射后到达后端面，并在后端面处发生折射从板条 输出。因此，从YAG板条物理应用的角度来看，元件光学加工的最终目标是控制元件的端面透射波前误差。 为方便表征板条透射波前的质量指标并具体分析各工作面的影响规律，首先建立三维直角坐标系，如图2 mm×30 所示，板条状介质为平行六面体的异形结构，其几何尺寸为150 mm×2．5mm，4个工作面的面形及 其相互之间的夹角对工件的透射波前质量均有不同程度影响。建立坐标系时，以大面A与端面C的交线EF 面A，上大面B，左端面C，右端面D)。 Schematicof slablaser Fig．1 typical Nd：YAG slab Fig．2 crystal 图1典型板条激光器的工作原理示意图 图2 Nd：YAG晶体板条 板条的透射波前质量包括两方面技术指标：波前畸变和偏转角误差。YAG板条的端面透射波前畸变可理 *收稿日期：2014-12—16；修订日期：2015-03—17 基金项目：中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室自主基金重大项目(ZZl3003) 作者简介：赵世杰(1989一)，男，硕士，助理研究员。从事先进光学制造技术研究；shijiezhaohit@126．corn。 通信作者：谢瑞清(1982一)，男，硕士，副研究员，从事先进光学制造技术研究；xieruiqing@163．corn。