TiNVN超晶格薄膜的切变弹性模量的计算.pdf

CHINESE OFCOMPUTA’n0NALPHYSICS 20。1年9月翥：黼一 。H。N。。。．。总。A。磊。。M器，。盯罴。，H。。。。。JOURNAL V鬈?j‰：‰．200l 【文章编号】 1001．246x(2001)05—0467一03 TiN／VN超晶格薄膜的切变弹性模量的计算 李承斌， 刘福庆， 焦淑卿， 范湘军 (武汉大学物理科学与技术学院．湖北武议430072) 【摘耍]采用腰势方法计算TiN，vN超晶格薄膜的能带结构，并计算了mN，vN超晶格原胞的总能量，进而得到r 该材料的切变弹性模量c。随超晶格周期的变化关系，c。出现最大值时所对应的周期与实验值基本一致 [关键词]超晶格；赝势；切变弹性模量c。 4 1，0484 [文献标识码】A [中圈分类号]0482 者的晶格常数不匹配(失配律为2．4％)，在超晶格 0引言 中会发生晶格畸变．考虑到薄膜中TiN和vN的比 例为1：1，为简单起见，假定品格常数为二者的平 R 自1969年美国IBM实验室的E8akiL和T8u 均． 首次提出超晶格的概念以来，超晶格材料就一直受 到广泛的关注和研究．超晶格的研究起初主要着重 范数不变赝势”]．由于相对论效应的能量对总能的 于其光电性质，不久之后，对超晶格结构的力学性质 等方面的研究也得到了一定重视．实验发现金属，金 影响很小，一般前者与后者的比值仅为10。量级， 可忽略，故在不考虑相对论效应的情况下，赝势表达 属．陶瓷，陶瓷超晶格中大量存在一种力学性质加强 式为 的现象，即超晶格结构的弹性模量较普通非超晶格 材料的要强数倍““o．在对过渡金属氮化物薄膜的 曙(r)=∑肾(r)， (1) 制备和研究中，也发现了这种超晶格力学性厦增强 的现象“Ⅷ．1970年，K0ehler基于分界层对位错运动yr(r)=r。，(r)+△y?”(r)， 的阻碍作用的理论，指出由两种切变弹性模量相差 u 悬殊的材料构成的超晶格可能具有高硬度”1．但是， r)_一a豁”erf‰∥川， 如果多层膜的厚度十分薄时，在晶体生长时反而不 易产生位错，也就是在弹性形变限度之内的超薄膜 中，晶格本身发生应变而消除了缺陷的产生”。．另外 还有两种解释“o，一种认为，这种“超模量”效应是由 误差函数． 于超晶格的布里渊区同费米面相切，由此引发了晶 格电子能带结构的畸变而产生的；另一种看法认为， 将原子硬势y=(r)变换到动量表象中，积分采 弹性常数的增加，是由于超晶格内不同成分之间的 用球形近似，将被积区域视为一个体积与原胞体积 晶格常数失配引起的．这些解释都只是初步的定性 相同的球． 分析．本文采用赝势方法计算超晶格薄膜的能带结 (3) 曙(G)=去j晤(r)e“6‘7d，， 构，进而得到了TiN，vN的切变弹性模量c。． n为原胞体积．对一个