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7. 冷凝泵 §1-4 真空的测量 几种真空计的工作原理与测量范围 U形管压力计 利用大气压与真空压差 测量范围（Pa） 105－102 电阻真空计、热偶真空计 利用气体分子热传导 测量范围（Pa） 104－10-2 热阴极电离真空计 、B-A型真空计 利用气体电离与压强的关系 测量范围（Pa） 10-1－10-6、10-1－10-10 潘宁磁控电离计 利用磁场中电离与压强的关系 测量范围（Pa） 1－10-5 气体放电管 利用气体放电与压强的关系 测量范围（Pa） 103－1 1. Bourdon Gauge 2. Heat Transfer Gauges Thermocouple gauge and Pirani Gauge 热偶真空计 在低气压下，气体传导的热量与压强成正比，对一热丝进行加热，在平衡时其温度应恒定，用热电偶测量热线温度的变化，即可知压强的变化，若测量热丝电阻值的变化，即为热阻真空计。 Q=Q1辐射+Q2传导+Q3气体分子带走热量 热导规对不同气体的灵敏度 3. Capacitance Manometer 4. 电离真空计 类似于一真空三极管，灯丝发射电子使气体电离，气体分子电离的多少与气体分子密度成正比，即与压强成正比，收集极收集离子数的多少，即可知压强P的大小。 注意：不可在高气压下使用，此时离子电流过大，将烧毁真空计。 定义 真空：低于一个大气压的气体状态。 “相对真空”，“绝对真空”? 特点：压强(Pressure)低，分子稀薄， 分子的平均自由程长。 电学特性 输运特性 真空的性质可由压强、单位体积分子个数、 气体的密度等表示 用“真空度”及“压强”两个参量来衡量真空的程度。 帕斯卡（pascal）=1牛/米2，国际单位制 托（Torr）=133.322Pa=1/760atm单位，描述真空的独特单位 此外，mmHg、atm、bar等。 The only one which is legal Relative Pressure Absolute Pressure 4. Pressure unit Pressure unit Pa Bar Atm Torr Pa 1 0.00001 9.869×10-6 7.501×10-3? Bar 100000 1? 9.869×10-1 7.501×102? Atm 101325 1.01325 1 760? Torr 133.32 0.001333 1.316×10-3 1? 6. 真空的划分 ? 粗真空 105－102Pa : 目的是获得压差 vacuum cleaner, vacuum-filter，CVD 低真空 102－10-1Pa:气体分子运动特征改变，电场下具有导电特征 vacuum-bottle, vacuum-desiccator, vacuum-impregnation，Sputtering, LPCVD 高真空 10-1－10-6Pa :Evaperation, Ion source 超高真空 ＜10-6Pa ：Surface analysis， Particle Physics §1-2 稀薄气体的基本性质 低压状态下，可用理想气体的状态方程（波义尔定律、盖·吕萨克定律、查理定律）来描述，遵守麦克斯韦——玻尔兹曼分布。 PV＝nmolRT=nmolecularkT=nMvrms2/3NA nmol=m/M nmolecular =7.2*1022P/T 1. Ideal gas equation 2. 气体分子的速度分布 麦克斯韦速度分布函数 f（v）表示分布在速度v附近单位速度间隔内的分子数占总分子数的比率 v＝f(T,M) 3. 三个重要速度表示 最可几速度Vp：f(v)最大时的速度 平均速度Va 均方根速度Vrms 4.平均自由程 MEAN FREE PATH 定义：每个分子在连续两次碰撞之间所运动的平均路程 其中:n——气体分子密度 ，标准状态， n≈3*1019 δ—分子直径, several angstrom 代入理想气体状态方程 得 : 对于25℃空气 cm n’ Is λ propotional to T? 书上公式为简单近似 碰撞几率 气体分子运动 X 的距离以后，彼此间碰撞的几率。 ★误区：