张家界洁净室百级洁净室君信达静电放电损伤的失效分析工作.docVIP

静电放电损伤的失效分析工作 一般来说，静电具有高电位、强电场的特点，在静电起电-放电过程中，有时会形成瞬态大电流放电和电磁脉冲(EMP)，产生频谱很宽的电磁辐射场君信达千级洁净室另外，与常规电能量相比，静电能量比较小， 在自然君信达千级洁净室起电-放电过程中，静电放电(ESD)参数是不可控制的，是一种难于重复的随机过程，因此它的作用往往被人们所忽视君信达千级洁净室尤其在微电子技术领域，它给我们造成的危害却是惊人君信达千级洁净室的，据报道每年因静电造成直接经济损失高达几亿元人民币，静电危害以 成为发展微电子工业的重大障碍君信达千级洁净室 在半导体器件生产车间，由于尘埃吸附在芯片上，IC尤其是超大规模集成电路(VLSI)的成品率会大大下降君信达千级洁净室 IC生产车间操作人员都穿洁净工作服，若人体带静电，则极易吸附尘埃、污物等，若这些尘埃、污物被带到操作现场的话， 响产品质量，恶化产品性能、大大降低Ic成品率君信达千级洁净室如果吸附的灰尘粒子的半径大于100μm线条宽度约100μm时，薄膜厚度在50μm下时，则最易使产品报废君信达千级洁净室君信达千级洁净室 再次，静电对IC的损害具有一定的特点君信达千级洁净室 (1)隐蔽性 除非发生静电放电，人体不能直接感知静电，但发生静电放电人体也不一定能有电击的感觉，这是因为人体感知的静电放电电压为2~3kv，所以静电具有隐蔽性君信达千级洁净室 (2)潜在性 有些汇受到静电损伤后的性能没有明显的下降，但多次累加放电会给IC器件造成内伤而形成隐患君信达千级洁净室因此静电对IC的损伤具有潜在性君信达千级洁净室 (3)随机性 IC什么情况下会遭受静电破坏呢?可君信达千级洁净室以这么说，从一个IC芯片产生以后一直到它损坏以前，所有的过程都受到静电的威胁，而这些静电的产生也具有随机性，其损坏也具有随机性君信达千级洁净室 (4)复杂性 静电放电损伤的失效分析工作，因微电子IC产品的精、细、微小的结构特点而费时、费事、费财，要求较高的技术并往往需要使用高度君信达千级洁净室精密仪器，即使如此，有些静电损伤现象也难以与其它原因造成的损伤加以区别；使人误把静电放电损伤的失效当作其它失效，这在对静电放电损害未充分认识之前，常常归因于早期失效或情况不明的失效，从而不自觉地掩盖了失效的真正原因君信达千级洁净室所以分析静电对IC的损伤具有复杂性君信达千级洁净室 总而言之，在IC的加工生产和封装过程中建立起静电防护系统是很有必要的! IC封装生产线对静电的要求更为严格君信达千级洁净室为了保证生产线的正常运行，对其洁净厂房进行防静电建筑材料的整体装修，对进出洁净厂房的所有人员配备防静电服装等采取硬件措施外，封装企业可根据国家有关标君信达千级洁净室准和本企业的实际隋况制定出在防静电方面的企业标准或具体要 求，来配合IC封装生产线的正常运转君信达千级洁净室随着我国IC封装线的扩建、封装能力的逐年提高、封装品种的增加以及对产品质量和成品率的更高要求，相应地对各种软、硬件要求和对全体从业人员的静电防护意识的加强就显得更为重要，而这也正扮演和充当着影响我们产品质量的主要角色和无形杀手君信达千级洁净室所以说，静电防护将是目前和今君信达千级洁净室后摆在我们整个IC行业的一大课题君信达千级洁净室 4 结束语 综上所述，环境诸多因素和静电 因素始终对IC的封装加工过程起着很重要的作用，这也是IC的发展趋势和封装加工过程的固有特性所决定的，微电子半导体IC的超前发展，就势必要求我们在环境与静电方面紧紧跟君信达千级洁净室上IC的发展，使之不要成为制约IC封装加工发展的障碍和绊脚石君信达千级洁净室