陕西科技大学材料学院《无机合成》课件67无机合成等离子体激光技术.pptVIP

;第六章 等离子体合成 ; 第一节 等离子体——物质的第四态;3.把等离子体视为物质的又一种基本存在形态的原因： （1）它与固、液、气三态相比无论在组成上还是在性质上均有本质区别。 （2）即使与气体之间也有着明显的差异。 原因： 首先，气体通常是不导电的，等离子体则是一种导电流体而又在整体上保持电中性。 其二，组成粒子间的作用力不同，气体分子间不存在静电磁力，而等离子体中的带电粒子间存在库仑力，井由此导致带电粒子群的种种特有的集体运动。 第三，作为一个带电粒子系，等离子体的运动行为明显地会受到电磁场的影响和约束。;说明： 并非任何电离气体都是等离子体。 只有当电离度大到一定程度，使带电粒子密度达到所产生的空间电荷足以限制其自身运动时，体系的性质才会从量变到质变，这样的“电离气体”才算转变成等离子体。 ???则，体系中虽有少数粒子电离，仍不过是互不相关的各部分的简单加和，而不具备作为物质的第四态的典型性和特征，仍属于气态。;4.等离子体的分类 第一类：是高温等离子体或称热等离子体(亦称高压平衡等离子 体)。此类等离子体中，粒子的激发或电离主要通过碰撞实现，当压力大于1.33×104Pa时，由于气体密度较大，电子撞击气体分子，电子的能量被气体吸收，电子温度和气体温度几乎相等，即处于热力学平衡状态。 第二类：低温等离子体(又称冷等离子体)，是在低压下产生的，压力小于1.33×104Pa时，由于气体密度小，气体被撞击的几率减少，气体吸收电子的能量减少，从而造成电子温度和气体温度的分离，电子温度比较高(104K)而气体的温度相对较低(102～103K)，即电子与气体处于非平衡状态。气体压力越小，电子和气体的温差就越大。;第二节 产生等离子体的常用方法和原理 ;; 1、气体放电法 ; 2 光电离法和激光辐射电离法 光电离法 原理：借入射光子的能量使某物质的分子电离以形成等离子体。 条件：是光子能量必须大于或等于该物质的第一电离能。 例如碱金属铯的第一电离能最小，只需用近紫外光源照射就可产生铯等离子体。 激光辐射电离法; 激光辐射电离本质上也属光电离，但其电离机制和所得结果和普通的光电离法不大相同。 不仅有单光子电离，还有多光子电离和级联电离机制等。 就多光子电离而言，是同时吸收许多个光子使某物质的原子或分子电离的。例如，红宝石激光的波长为0.69μm，单光子能量只有1.78eV。对于氩原子来说只吸收一个光子不可能产生电离，但同时吸收 9个光子可实现电离。因此利用红宝石激光器辐射氩气完全可以产生氩等离子体，而用同样波长的普通光照射则不可能得到氩等离子体。 激光辐射法的另一个特点是易于获得高温高密度等离子体。 值得注意的是，近年来激光等离子体在化学领域的应用上呈现明显上升趋势，如激光等离子体化学沉积等。; 3射线辐照法 ： 用各种射线或者粒子束对气体进行辐照也能产生等离子体。 例如用放射性同位素发出的α、β、γ射线，X射线管发出的X射线，经加速器加速的电子束、离子束等。 α粒子是氦核He2＋，用α射线发生等离子体相当于荷能离子使气体分子碰撞电离。 β射线是一束电子流，它引起的电离相当于高速电子的碰撞电离。 对γ射线、X射线来说，只需令射线能量UR＝hν，显然可视为光电离。至于电子束和离子束，也都是借已经加速的荷能粒子使气体分子碰撞电离的，但由于粒子束的加速能量、流强、脉冲等特性可加以控制而显示出许多优点。; 4燃烧法 这是一种人们早就熟悉的热致电离法，借助热运动动能足够大的原子、分子间相互碰撞引起电离，产生的等离子体叫火焰等离子体。;第三节 等离子体化学的特点 ; 由于等离子体含有离子、电子、激发态原子、分子、自由基等这些极活泼的化学反应物 种，使它的性质与固、液、气三态有本质的区别，并表现出许多特点。; 通常物质在“三态”下进行数千度以上的高温反应是极其困难的，仅反应器的材质就很成问题。等离子态则不同，这是因为等离子体与任何容器并非直接接触，二者之间会形成一个电中性被破坏了的薄层，即等离子体壳，使高温不会直接传导给器壁。还可用电磁场来约束等离子体，加之冷却手段的运用等，即便是数万度的高温反应在技术上也易于实现。 ;第二个特点：就是能够使反应体系呈热力学非平衡态 在辉光放电条件下，物质只部分电离，存在大量的气体分子。 又由于电子质量远比离子的小，整个体系的温度取决于分子、离子等重粒子的温度。 这样一来尽管电子能量很高，可激活高能量水平的化学反应，反应器却处于低温，已应用于高温材料的低温合成，单晶的低温生长，半导体器件工艺的低温化等过程。