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2015-09-14 发布于安徽
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MPCVD谐振腔内电磁场分布的数值模拟.pdf

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MPCVD谐振腔内电磁场分布的数值模拟／刘繁等 ·275· MPCVD谐振腔内电磁场分布的数值模拟刘繁，汪建华 (武汉工程大学材料科学与工程学院，湖北省等离子体化学与新材料重点实验室，武汉430074) 摘要采用时域有限差分算法对MPCVD装置谐振腔中电磁波的分布进行了数值计算；推导出麦克斯韦方程在谐振腔内电磁场分布的数学模型；采用Ansofl软件对腔体中的电磁分布进行了模拟。根据模拟的电场形状以及其它相关的数据来判断此时反应器的形状和性能。数值模拟结果表明，空腔有3个大小相近的电场均匀区域，谐振腔的固有品质因素相对较高。计算模拟结果与实验结果较吻合，验证了计算和模拟的正确性，为设计利用MPCVD技术沉积金刚石薄膜的谐振腔提供了参考依据。关键词 MPCVD谐振腔FDTD法电磁场数值模拟 NumericalSimulationof FieldsofMPCVD Electromagnetic Resonance Cavity L1U Jianhua Fan，WANG ofMaterialScienceand Instituteof of (School Engineering，WuhanTechnology，KeyLaboratory PlasmaChemicalandAdvancedMaterialsofHubei Province，Wuhan430073) AbstractBasedonthe timedomain the finitedifierence method(FDTD)，thedistributionof field electromagnetic fora resonance mathematical onthe is calculated．A isbased Maxwell de— given cavitynumerically model，which Equation，is ducedtodescribethe fielddistributionofthe fielddistributioninthe electromagnetic cavity．Theelectromagnetic microwave resonanceis withAnsoflsoftware．Theofthe are tothe distributionofthe cavityanalyzed propertiescavityjudgedaccording field．Thesimulationresultsshowthattherearethreeevenelectricfield the