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2004年全国电子电镀学术研讨会论文集
电真空无氧铜零件无污染电镀工艺
何家康
(中国振华(集团)科技股份有限公司宇光分公司550018)
[摘要]介绍一种电真空器件无氧铜零件无荇染电镀镍、电镀银工艺。本工艺的实施是一种清洁电镀生产。
C关键词】无氧铜零件电镀工艺
Nacl lO一15∥L
1前言
H3803 35—459/L
无氧铜材料在真空电子器件中用量较大,部分无 DH: 5—5.5
氧铜零件需要电镀,一般采用电镀镍或电镀银,电镀 电流密度:O.5~1.OA/dm2
镍的作用:便于钎焊,使零件之间用焊料在真空炉或 温度:室温
氢炉焊接成为组件;电镀银的作用:增加外附件的导 时问:40~60min(视镀层厚度而定)
电性能。 有阴极移动装置效果更好。
在以前的电镀工艺中,铜零件的电镀镍、电镀银 7)回收(纯净水)
在前处理和电镀基本上要产生酸洗黄烟、氰化物废 8)冷水洗
水,对环境污染比较大。为了解决环境污染的问题, 9)脱水
我们在原来的工艺上进行大量试验,使电镀生产过程 采用无水乙醇进行脱水
无污染。 10)烘干
’1
… 无氟铜零件电镀银工艺流程:
2工艺流程
1)超声波化学除油
2.1无氧铜零件电镀镍工艺流程: 常温化学除油剂 30—509/L
1)超声波化学除油 温度:40~45气
常温化学除油剂20—45昏/L 时问:3—5min
温度:40—45℃ 2)热水洗
时间:3~5min 温度:45—50℃
2)热水洗 时间:8—15s
温度:45—50℃ 3)冷水洗
时阔:8—15s 4)活化(抛光)
3)冷水洗 450m∥L
工业级(98%)H2S04
4)活化(抛光) 工业级NaN03 959/L
工业级(98%)H2s0。450mL/L 工业级Hcl 5mL/L
工业级NaN03 959/L 聚乙二醇(M≥10000)
0.5~1∥L
工业级HCl
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