高折射率对晶体硅太阳能电池电性能的影响.pdfVIP

第一部分晶硅材料、晶硅太阳电池 ·225· 高折射率对晶体硅太阳能电池电性能的影响 巢芳家 贺 洁 李志伟 平飞林 何达能 (常州天合光能有限公司，邮编213031) 摘要 因氮化硅良好的化学和电学性能，将氮化硅作为减反射和钝化膜已经广泛的应用于晶体硅太阳电 池的工业化生产。本文以目前常规的工业化高效电池工艺为基础，考察了高折射率对晶硅太阳能电池主要 电性能参数的影响。实验表明当折射率提高到2．18(膜厚为77nn2)时，电池的转换效率比正常工艺低了 0．56％，电性能良率比正常工艺低了28．62％。主要是Rsh失效比例急剧上升到28．50％，这种失效模式为我 们在制造过程中查找失效原因又提供了一个新的方向。 关键词 高折射率；太阳能电池；失效；氮化硅 of RefractiveIndexonPerformanceof Effects High SiliconSolarCells Chao HeJieLiZhiwei FeilinHe Fangjia Ping Daneng Trinasolar China213031) (ChangzhouEnergyCo．1td·ChangzhouJiangsu AbstractBecauseof chemicaland electrical hasbeen usedinindustrial itsstable good properties，SiNwidely Siliconsolareell studiedtheeffectsof refractiveindexon ofsiliconsolarcells process．We high performance basedoncurrent solarcell showsthatitwillresultin lossand highefficiency process．It 0．56％efficiency 28．62cell loss caused failrate．Thisresult usanew tofind which Rsh yield mainly byhigher provides way fail cause eell root and of improveyield process． nitride Keywords index；solarcell；fail；silicon hi曲refractive 等离子体增强的化学气相沉积法(plasma 1 enhancedchemical 引言 vapourdeposition，简称 PECm)具有沉积温度低(不会出现因温度过高 氮化硅不仅可以用作减反膜，提高电池对光 引起的器件失效问题)，操作方法灵活，工艺重复 的吸收利用，而且因其具有较高的化学稳定性，绝