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第 14卷第 1期 功能材料与器件学报 Vo l14 ,No1 2008年 2 月 JOURNAL OF FUNCTIONAL MA TER IAL S AND D EV ICES Feb. , 2008 文章编号 : 1007 - 4252 (2008) 0 1 - 0 139 - 04 PECVD 法制备纳米晶粒多晶硅薄膜 赵晓锋 1, 2 ,温殿忠1, 2 ( 1. 黑龙江省普通高等学校电子工程重点实验室 ,黑龙江大学 ,哈尔滨 150080; 2. 黑龙江大学 ,集成电路重点实验室 ,哈尔滨 150080)