icp发射光谱仪高频电源原理与故障分析.pdfVIP

维普资讯 廖国武 H1叶-Jf 华南师范大学实验 中心 (广州 51o631) 高频电源是电感耦合等离子体发射光谱仪的重要组成部分。由于高频 电源处于高压、高 频、大功率的工作状态 ，因此出现故障的几率较高。本文介绍美国LEEMAN公司生产的 PLAS— MA—sPEc顾序直读 电感耦合等离子体发射光谱仪的高频 电源原理和故障分析检修实例 ，供 同行参考 。 PLASMA—SPF_~ 口发射光谱仪高频电源发生器是 由调谐腔振荡器组成的。运用负反馈 电路，使炬管 能量保持最佳 品配，点火容 易，功率稳定，输 出功率连续可 调。振荡频率 为 加 ．68 k。 、 图1是 tCP发射光谱仪高频 电源原理图。交流电源先经过可控硅调压和升压变压器升 压 ，(图中未画出)，然后经过桥 式整流、滤波电路变换成直流高压，直流高压经过高频旁路电 路后送到柏 ．6g加 的振菇器 。高频功率通过感应线圈把能量耦合给等离子体 ，等离子体点 燃后就形成 ICP火焰。由STAGE1等电路组成恒流电路 ，使用多只VMOS场效应管并联后串接 在主回路中作为恒流调节元件。达到稳定高频振荡器电流的目的。 图 1 故障 1：通 电后，按点火按钮，能点燃火焰，但 电流表指针不稳定 ，慢慢往右摆动，随后， 火 焰就熄灭了。这时电源机箱后部的 REGULATOR指示灯点亮。 在正常情况下，火焰点燃后 ，高压直流电源部分处于稳定电流控制的工作状态。电流表指 针应非常稳定，凭眼睛是看不到指针摆动的。本故障现象中指针慢慢摆动，说明恒流控制部分 出了故障。当电流增大到一定值时，过流保护电路动作，切断高压电源，火焰就熄灭了。 维普资讯 · 34 · ICP发射光谱杖 高频 电源原理与故障分析 电源机箱后板上有八只指示灯，观察这些指示灯状态对分析故障原因是很有帮助的。本 故障出现后 ，REGULATOR指示灯亮，指示 自动调节 电路功能失 常，实际电流超过了功率设定旋 钮设定的电流。根据 图 1分析，故障可能出现在 STAGEI电路板上。断开 电源，用 U201型万 用表 RXIO0档测量 STAGE1电路 板的测 试点，黑表笔接 TF2，红表笔接 TP3，测得 电阻值为 500fl，这两点间正常电阻值应有 300k．q．。因此判断这块 电路板有故障。拆下这块 电路板 ，把六 只并联使用的大功率场效应管焊下来分别测量，发现有一只场效应管漏极与源极之间已被击 穿，用 U201万用表 Rx100档，漏投接黑表笔，源投接红表笔，测得漏极与源极间电阻才 500n， 正常场效应管用同样方法测量，漏极与源投 问的电阻应大于 l啪 。这只场效应管被击穿后， 恒流调节功能失常，就出现了上述故障。被击穿的场效应管是 VMOSN沟道场效应管，型号为 m开440，市场上买不到这种型号管子，选用参数接近的场效应管 I1-17N50代替 。更换后火焰和 电流表指针都很稳定。 敏障2：通 电后，按点火按钮 ，听见曦嗽声，无法点燃火焰。电流表指针不稳定．无规则摆 动 。 火焰无法点燃，说明高频振荡器工作不正常，投有高频能量传送到感应线圈。用电压表测 量高压电源输出端与地之间电压只有 700V，而正常电压值应该达到4700V，这说明直流高压电 源有敏摩。从电流表指针无规刚摆动 ，可以判断直流高压电源中存在跳火或漏电的元件。经 进一步检查 ，发现高压电源电缆与主机连接部分的旁路盒外壳温度高，烫手，停 电后打开旁路 盍 ，发现盒内充满了高压跳火产生的黑烟 ，高频旁路电容 c(见图 1)被击穿，电容两极问电阻 值只有 800ft，电感器 漆包线已全部烧焦 。由于击穿元件漏 电，高压 电源降低 了很多，高频 振荡器停止工作 ，投有高频电流输出，所 以出现了无法以点燃火焰的故障。 把旁路盒内接线柱接线头周围炭黑清理干净，更换容量为 1000pF、耐压 lOkVDO的旁路 电 容 c1，更换电感量为为4．8rah的电感线圈