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一种新型光纤传感器在精密产品加工中的应用研究,新型光纤传感器,新型光纤温度传感器,光纤传感器,基恩士光纤传感器,高温光纤传感器,欧姆龙光纤传感器,奥托尼克斯光纤传感器,光纤光栅传感器,光纤传感器及其应用
第 卷 第 期 光学 精密工程
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!年 #月 h:5EDG76_ :iBDEGEh6 B6jE6BBiE6j 7Z;0+!
文章编号 !#$%# (!)$!*%$*
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一种新型光纤传感器在精密产品加工中的应用研究
曾 毅 侯 国章
+
哈尔滨工业大学机 电工程学院 黑龙江 哈尔滨
( + !,!)
摘要 利用所研制 的新型反射式光纤传感器对精密产 品加工 中的小台阶 沟槽等进行 了测试研究 测试
- . /
系统充分发挥 了激光光纤传感测量方法 的突出优点 实现对精密产 品的非接触 快速地检测 传感器 的
+ . /
高度分辨力可达 定位精度可达
0# + 3 /
12 12
关 键 词 光纤传感器 精密加工 激光 非接触检测
- 4 4 4
中图分类号 - ,* 文献标识码 -
56 7
如 图 对于这类光纤传感器 其光强响应特性 曲
!/ +
8 引 言 线是传感器结构设计的主要依据 /设入射光纤端
部出光光场的场强分布函数为
计算机技术 传感技术 集成 电路等现代工业
. . O
J(K+L+M)N X
*V
技术 的进步 促进 了一 门新兴学科 精密工程 PQRS!T U(MVR) W
+ 99
的产生和发展 精密工程 (K T L)
( ) /
:;=?@ABACA;AC YZ [ *V (!)
\ QRS!T U(MVR) W]
是 以精密加工技术 精密测试技术 微 电子技术和
. .
式中+O 为 由^_ 耦合进入到入射光纤中的光强 -
现代光学技术为基础
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