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燕山大学机械学院 第三章、传感器测量原理 3.7 半导体敏感元件传感器 1 磁电转换元件传感器 金属或半导体薄片置于磁场中，当有电流流过时，在垂直于电流和磁场的方向上将产生电动势，这种物理现象称为霍尔效应。 1)霍尔元件 霍尔元件由霍尔片、四根引线和壳体组成，如图所示。 3.7 半导体敏感元件传感器 应用 案例：电流传感器 案例：管道裂纹检测 3.7 半导体敏感元件传感器 原理 磁场强度变化检测 2) 磁电阻元件 3.7 半导体敏感元件传感器 磁阻效应 ? - - + + l w x 特点 电阻的增量与磁 场的平方成正比； 与磁场的正负无关； 温度系数影响大； 磁感应的范围比霍尔元件大。 R -5 -4 -3 -2 -1 0 1 2 3 4 5 应用 磁头；接近开关和无触点开关。 3) 磁感应半导体元件分类 3.7 半导体敏感元件传感器 磁感应半导体元件 体元件 霍尔IC 结型元件 霍尔元件 磁电阻元件 磁敏二极管 磁晶体管 磁半导体开关 其它 开关 线性 3.7 半导体敏感元件传感器 2 光电转换元件 光电传感器通常是指能敏感到由紫外线到红外线光的光能量，并能将光能转化成电信号的器件。其工作原理是基于一些物质的光电效应。 1) 光敏电阻 光电导效应是指半导体材料受到光照时会产生电子-空穴对,使其导电性能增强,光线愈强,阻值愈低,这种光照后电阻率发生变化的现象,称为光电导效应。基于这种效应的光电器件有光敏电阻、光敏二极管、光敏三极管。 3.7 半导体敏感元件传感器 2 )光电池 光生伏特效应指半导体材料P-N结受到光照后产生一定方向的电动势的效应。以可见光作光源的光电池是常用的光生伏特型器件。 + + + - - - P N 3.7 半导体敏感元件传感器 3 ) 应用 光电传感器在工业上的应用可归纳为吸收式、遮光式、反射式、辐射式四种基本形式。 3.7 半导体敏感元件传感器 案例：光电鼠标就是利用LED与光敏晶体管组合来测量位移。 案例：亮度传感器： 通过检测周围环境的亮度，再与内部设定值相比较，调整光源的亮度和分布，有效利用自然光线，达到节约电能的目的。 3.7 半导体敏感元件传感器 动手做： 观察你计算机上使用的鼠标结构，了解鼠标如何实现运动测量。 3.7 半导体敏感元件传感器 3 热敏电阻传感器 半导体热敏电阻的材料是一种由锰、镍、铜、钻、铁等金属氧化物按一定比例混合烧结而成的半导体，它具有负的电阻温度系数，随温度上升而阻值下降。 典型的热敏电阻元件有圆形、杆形和珠形等，其结构及温度特性如图所示。 3.7 半导体敏感元件传感器 应用 温控器 热敏电阻 3.7 半导体敏感元件传感器 4 气敏电阻传感器 气敏传感器是利用气敏半导体材料，如氧化锡、氧化锰等金属氧化物制成敏感元件，当它们吸收了气体烟雾，如一氧化碳、醇等时，会发生还原反应，放出热量，使元件温度相应增高，电阻发生变化。 气敏传感器应用较广泛的是用于防灾报警，如煤气、或有毒气体报警，也可用于对大气污染监测、CO气体测量、酒精浓度探测等方面。 烟雾报警器 酒精传感器 二氧化碳传感器 3.7 半导体敏感元件传感器 5 CCD固态图象传感器 MOS(Metal Oxide Semiconductor)光敏元的结构是在半导体(P型硅)基片上形成一种氧化物(如二氧化硅)，在氧化物上再沉积一层金属电极，以此形成一个金属-氧化物-半导体结构元 (MOS)。 在半导体硅片上按线阵或面阵排列MOS单元，如果照射在这些光敏元上的是一幅明暗起伏的图像，则这些光敏元上就会感生出一幅与光照强度相对应的光生电荷图像。 3.7 半导体敏感元件传感器 0 1 1 1 1 1 0 0 光敏管阵列 并联串联转换器 运算电路 显示电路 结束信号 驱动脉冲 CCD 3.7 半导体敏感元件传感器 特点: (1) 非接触检测; (2) 响应快; (3) 可靠性高,为修简便; (4) 测量精度高; (5) 体积小,重量轻; 容易与计算机连接 (6) 对被测物体需要强光照射; (7) 受被测物体以外的光的影响. 应用: (1) 宽度测量; (2) 外径测量; (3) 主轴径向跳动测量. 第三章、传感器测量原理 3.8 其它类型的传感器 1、热辐射检测传感器 绝对零度以上的物体都有辐射，其强度依赖于物体的温度(K)，在此仅考虑黑体也称全辐射体的辐射能和波长的关系。根据普朗克辐射定律有以下