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硅表面复合自组装膜的制备及其摩擦性能.pdf

HuaxueXuebao) 物理化学学报(Wuli Acta 17-922 917 April Phys.一Chim.Sin.2012,28(4),9 172 【Article】 doi:10.3866/PKU.WHXB201201 硅表面复合自组装膜的制备及其摩擦性能 潘鹤 滕淑华‘ 丁翠翠 (中国矿业大学材料科学与工程学院,江苏徐州221116) 表面的组成、结构及摩擦性能进行了表征.结果表明:复合膜表面对水的接触角约为630,且表面半整、致密,其 平均粗糙度(尺a)约为0.963nm.通过原子力碌微镜(AFM)和透射电子履微镜(TEM)观察剑夹层中SiOz颗粒的粒 径约为20—50 SiO。-APTES复合膜由于纳米SiO:颗粒的引入而表现出更低的摩擦系数和更长的耐磨寿命. 关键词:单晶硅: 自组装:复合膜:摩擦性能 中图分类号:0647 and ofSelf-Assembled PreparationTribologicalProperties F¨msonSiliconSurface Composite PANHe Cui.Cuj TENGShu—Hua’DING Scienceand and 221116, (SchoolofMawnabEngineering,ChinaUniversityofMiningTechnology,Xuzhou Province,P尼China、 Jiangsu Abstract: fiIms0f were on Composite prepared siliconsubstratesa thentheir single—crystal usingself-assemblytechnique,and werecharacterized.Theresultsshowedthatthe filmshadauniformand tribologicalproperties composite densesurfacewithan 0.963nmandacontactof63。.Theatomicforce averageroughness(尺a)of angle transmissionelectron revealedthemiddle that,in microscopy(AFM)andmicroscopy(TEM)observations ofthe of20-50nmindiameterwere

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