高温快速退火对电子束物理气相沉积制备高硅硅钢片的影响.pdfVIP

李晓等。高温快速退火对电子束物理气相沉积制备高硅硅钢片的影响 1603 高温快速退火对电子束物理气相沉积制备高硅硅钢片的影响’ 李晓，孙跃，赫晓东’ (哈尔滨工业大学复合材料与结构研究所，黑龙江哈尔滨150001) 摘要： 对电子束物理气相沉积高硅硅钢片进行了 高蕊快速退火处理。用SEM，EDS，XRD对制备态硅 钢片和热赴理态组织，成分，物相进行了表征，并测试 了其电阻率和磁滞回线。结果表面：高温快速退火使 高硅硅钢片硅成分变均匀，靠近基板侧的相由F‰si 变成D03’硅钢片中孔长太，电阻率从90pn·m增大 到160“n·m，矫顽力减小，磁感应强度减小。 关键词：高温快速退火；高硅硅钢片；电子束物理气 图1 高温快速遇火热处理工艺 相沉积 1High themal Fig temperaturerapid anne8ling 中圈分类号：TGl56 文献标识码：A 3实验结果与讨论 文章编号：1001—9731(2007110—1603一02 3．1成份和组织 1引言 图2是制备态和退火态硅钢片截面成分分布图。 高硅硅钢片，特别是硅含量为6．5％(质量分数) 图2中，。I”代表靠近基板侧，“Ⅱ”代表背离基板侧。 的硅钢片具有优异的软磁性能o。】，如中高频铁损低， 从图2(a)可知，制备态硅钢片中，硅成分成震荡性分 磁导率高，矫顽力低，磁滞伸缩小。它是制作低噪音、 布；背离基板侧硅含量低于靠近基板侧硅含量。实际 低铁损变压器、电抗器的理想铁芯材料Ⅱ“1l但此材料 制备过程中，由于内部气压瞬间过高，设备因保护而自 韧性差，很难制备出大尺寸薄板脚。电子柬物理气相 动断电，气压降低，设备又恢复工作}在设备恢复工作 沉积是一种新的技术．它能制备厚度从零点几毫米到 时，电子束流的大小从小变大，硅蒸发速度逐渐达到稳 几毫米的大尺寸薄板，是一种潜在的制备高硅硅钢片 定。因而整个界面中硅的成分成震荡性分布。实际蒸 工艺…。目前。我们用电子柬物理气相沉积工艺制备 镀过程中，为了使制备的高硅硅钢片能剥下来，在蒸发 出了厚度o．15mm高硅硅钢片，但发现制备的材料存后期减小蒸发硅的电子枪束流大小，因而背离基板侧 在着成分不均匀，含有应力等问题{高温快速退火热处 硅含量低一些。从图2(b)可以看出，退火态硅钢片截 理工艺具有能使材料成分均匀、去除应力和保持晶粒 面中，硅分布总体上是均匀的。这说明在1200℃下， 尺寸变化不大的特点，因而本文研究高温快速退火对 保温5min能使薄板中的硅扩散均匀。 制备态的高硅硅钢片对组织结构、性能的影响。 2实验 图2截面成分分布 Pc9A对试样进行了电阻率测试，其试样尺寸为40mm x5mm×o。22tnlIl。测3敬取平均值l用vsMLH一3对 ?竺2o‘?ss8：。n017i?竺9”m““jst“bun” 萎嚣燃裴熙慧墨銎耋嬲：可以昙主嘉鬈翥黧瓣裟嬲蹴 ?懿群臆削吣撼烟弑黻勤4·7罩筹趸；舅墨赫写磊暴黼名燃善 ·基金项目：新世纪优秀人才支撑计划资助项目(NcET2004) 收耐初稿日期：2007-03—29 收刮修改稿日期：2007_07．17 通讯作者：赫晓东 作者简介：李晓(198l一)，男，浙江东阳人，在读博士，师承赫晓东教授，从事磁性材料研究． 万方数据万方数据 万方数据万方数据 昧诗等t弱t离子交换纤维的结构表征与性柏研究