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国 外 计 量 1989年 第 3期 数 字 湿 度 计 Hiromishimizv等 温度计 的准确度为 8 。用一商用 的四线对电 1．湿敏元件 桥在频率200Hz~-500kHz范围内测其电容量 湿敏元件由硅基片和 聚 酰 亚 铵电容器构 频率为 10kHz时所得结果绘于莲 2。 成 。使用硅基 片 可 以集成信号处理 电路从而 获得一个 “灵巧 的元件”。其制造过程如下： 首先 ，将金蒸发到0．O01O—cm 350~m厚的n一 型硅片表面上 ，在65℃烧结l0分钟使它们成为 电阻性接 触。用化学浸蚀法除去另一面的SiO。 层后，在30秒 内以3000rpm的转速 将聚酰胺旋 压在硅表面上。聚酰亚胺膜先 在200℃预 烘焙 u 3OO f／纛 1小时 ，然后在350T~固化 1小时 。至此 ，1．5