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浙江昱辉阳光能源有限公司 文件编号:Q02-09
版本号:A/1 页码:第1 页 共35 页
单晶炉操作规程
生效日期:2008 年5 月30 日
一、目 的:
为正确、规范地操作单晶炉,确保生产作业正常进行,特制订本规程。
二、范 围:
适用于FT-CZ2008 型单晶炉的操作。
图1 FT-CZ2008 型单晶炉 图2 操作柜
三、依 据:
依据为直拉法生长硅单晶的工艺和FT-CZ2008 型单晶炉的性能。
批 准 审 核 编 制
修改履历
页 码 内 容 状 态 备 注
浙江昱辉阳光能源有限公司 文件编号:Q02-09
版本号:A/1 页码:第2 页 共35 页
单晶炉操作规程
生效日期:2008 年5 月30 日
四、权责单位:
本规程的权责单位为浙江昱辉阳光能源有限公司硅单晶三厂技术部。
五、作业流程:
作业准备 取单晶和籽晶 石墨件取出冷却 真空过滤器清扫 真空泵油检查与更换
硅料安装 石英坩埚安装 石墨件安装 炉室清扫 石墨件清扫
籽晶安装 抽空、检漏 充氩气、升功率、熔料 温度稳定 引晶和缩颈
热态检漏 降功率、停炉 收尾 等径生长 转肩 放肩
六、作业内容:
1、作业准备
⑪、进入单晶车间须穿戴好洁净工作服、鞋。
⑫、开炉前,按工艺要求检查水、电、气,确认无异常后方能开炉。
⑬、准备好一次性洁净手套、耐高温手套、毛巾、纸巾、研磨布、酒精、吸尘刷、吸尘管、防尘口
罩。
⑭、准备好钳子、扳手和各类装拆炉专用工具。
⑮、准备取单晶用的专用取棒车、装石墨件的不锈钢长条车、装埚底料的不锈钢筒和装硅料的不锈
钢小车,并处理干净。
⑯、用毛巾将炉体从上到下擦扫一遍,擦扫时注意不要将所有控制接线及开关碰断或碰坏,并把炉
子周围清扫干净。
2 、取单晶和籽晶
⑪、点击【氩气】进入氩气控制菜单,在【MFC 流量值】中分步递增到100.0SLM,并先后点击【MFC 】
和【上炉体气阀】的【开启】按钮。炉体压力达到760Torr 后,先后点击【上炉体气阀】和【MFC 】
的【关闭】按钮。
浙江昱辉阳光能源有限公司 文件编号:Q02-09
版本号:A/1 页码:第3 页 共35 页
单晶炉操作规程
生效日期:2008 年5 月30 日
图3 【氩气】操作界面
⑫、拧开上炉体螺母,将操作手柄上的【HOIST 】旋钮打向UP 位置点动上升炉筒至适当位置,将
操作手柄上的【SEED】旋钮打向UP 位置上升晶棒到翻板阀室以上,顺时针转动翻板阀手柄,
关闭翻板阀。
图4
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