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半导体行业用去离子水设备技术解析分享 一、去离子水设备的概述 水中含有导电的阴阳离子，去离子水设备就是去除水中主要 导电的碳酸盐离子，就 对原水的净化处理，主要是应用离子 交换树脂来除去水中的电解质离子。但水中仍然存在可溶性的有 机物，可以污染离子交换柱从而降低其功效，去离子水存放后也 容易引起细菌的繁殖。 二、去离子水设备的工艺流程 反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合制取去离子水 的方式，污染小，自动化程度高，初期投入中等，价格适中。 原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→反渗 透设备→混床→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水 点。 三、去离子水设备的处理过程 先通过石英砂过滤颗粒较粗的杂质，然后高压通过反渗透 膜，分离出溶剂与溶液。最后一般还要经过一步紫外杀菌以去除 水中的微生物。假如此时电阻率还没有达到要求的话，可以再进 行一次离子交换过程，最高电阻率可达到18兆。半导体工业中用 的大多数是高纯度的去离子水。 四、去离子水的应用领域 1、实验室、化验室用水，一般实验室的常规试验、配置常 备溶液、清洗玻璃器皿等。 2、电子工业生产，如显像管玻壳、显像管、液晶显示器、 线路板、计算机硬盘、集成电路芯片、单晶硅半导体等。 3、电力锅炉，锅炉所需软化水、除盐。 4、汽车、家用电器、建材表面涂装、电镀、镀膜玻璃清洗 等。 5、石油化工行业，化工反应冷却水、化学药剂、生产配液 用水等。 6、工业纺织印染、钢铁清洗用水等。 7、食品、饮料、酒类、化妆品生产用水。 8、海水、苦咸水等净化。 五、工业去离子水设备的优点 1、系统纯水产量0、25-160吨/H 以上的各种纯化水生产线。 2、RO膜采用美国海德能或陶氏膜元件。RO膜壳为准载不锈 钢材质或优质玻璃钢膜壳。 3、原水增压、RO增压、清洗系统等选用南方不锈钢泵或格 兰富水泵等。 4、进口加药，软化装置。进口杀菌消毒装置。离子交换柱 采用有机玻璃、碳钢或不锈钢材质。 5、制水过程手/自动互换控制，自动控制采用西门子或ABB 同等元器件。 6、根据出水要求，可设计一级反渗透、二级反渗透、反渗 透加混合床、反渗透与EDI等多种生产工艺。 7、可满足产水电阻率在0、5-18MΩ、cm ，电导率10∪s/cm 以下,各行业的生产。 北京去离子水设备 /product/chunjingshui