氧碘激光器相位延迟片的制备与性能研究.pdf

第32卷第2期 中 国 激 光 V01．32，No．2 2005年2月 CHINESEJOURNALOFLASERS February，2005 文章编号：0258—7025(2005)02一0277一04 氧碘激光器相位延迟片的制备与性能研究 黄建兵1’2，王英剑1，邓志1，邵建达1，范正修1 摘要多层介质反射镜在非正入射的时候，两个不同的偏振态之间会产生不同的相移。利用矩阵法，根据菲涅耳 公式和电磁场边界条件，推导出声，s波的相移。通过优化设计，入射角为54。，在1285～1345nm之间声，s波获得了 270。±10的相移，同时也使反射率在99．5％以上。用离子束溅射技术制备相位延迟膜，用分光光度计测试了光谱 特性和用椭偏仪测试了相位特性，在相应波段获得了262．4。±1．8。的相移，同时也使反射率在99．6％以上。误差 的主要来源是离子源工作特性会产生不均匀的过渡层和最外层会吸收一些水气、灰尘等也产生表面过渡层。由误 差分析得出了制备过渡层的物理厚度和折射率的变化情况，最外层的厚度误差和折射率偏差是发生相移偏小的主 要因素。 关键词薄膜；相移；反射式；氧碘激光器 中图分类号0484．1 文献标识码 A on and ofPhaseRetarder Performance InVestigationPreparatiOn inChemical Laser Oxygen—Iodine HUANG Zhil，SHAOJian—dal，FAN Jian_bin91”，WANGYing—jianl，DENG Zheng—xiul 1 J竹s￡i￡“fe R8LD(■，z￡Pr．厂orO忉￡ifnZni行FiZ，规CoⅡ￡i行95，S^n行g^niD厂 n咒d C^i”Ps8 op￡ifsFi押P^匏c^以前if5，丁ⅥP 201800，C^i竹n Ac口de，nyo厂SfiP”c已5，S^n行g^ni 2G，。nd“盘￡PSc^ooZ lO0039，C^i行盘 o厂C矗i竹PsPAfndP，扎yo厂Scie超fPs，BPiJi咒g AbstractWhen beamentersdielectricreflectivemirrorwithcertainincident is incominglight angle，therephase shiftbetweenthe and IntermsofFresnelformulasand conditionsof p—polarizations—polarization． boundary shift r wasdeducedwithmethodsofmatrix．Basedon electromagneticfield，theph