直接热氧化制备氧化钛薄膜电极的研究Ⅰ. 制备、结构和电化学性质.pdfVIP

第 期 冷文华等：直接热氧化制备氧化钛薄膜电极的研究 6 ! 1003 - 7713/ 2001/ 06 - 0705 - 6 直接热氧化制备氧化钛薄膜电极的研究! !! 制备、结构和电化学性质 !! 冷文华 ， 张 昭， 成少安， 张鉴清， 曹楚南 （浙江大学玉泉校区化学系，杭州 310027 ） 摘 要： 采用原子力显微镜、 光衍射仪、电化学阻抗谱等手段对热氧化制备氧化钛膜的结构和 X 电化学性质进行了研究。结果表明，金属钛直接热氧化制备的薄膜为金红石型二氧化钛薄膜；随氧 化温度升高和时间延长，薄膜结晶度逐渐增大；随氧化温度升高，二氧化钛平带电位向负方向移动； 当温度大于600C后，二氧化钛结晶致密，电子导电性减小。 关键词： 氧化钛；热氧化；电化学阻抗 中图分类号： 文献标识码： O641 A 引 言 近年来，半导体尤其是二氧化钛由于在光电转换、腐蚀、纳米加工和光催化降解污染物等 ［］ 领域显示了广泛的应用前景，因而得到普遍研究1 。对光电转换和光电催化而言， 因其 TiO2 ［］ ［］ 2 3 高稳定性和良好的光催化活性被认为是目前较好的催化剂。采用溶胶 凝胶 、气相沉积 、 - ［］ ［］ ［］ 4 5 6 阳极氧化 、电泳 等制备TiO2 的方法研究较多，而对直接热氧化制备研究很少 。Hartig 等 研究了用钛热氧化、阳极氧化及其氧化后氢还原处理、气相沉淀制备氧化膜的电化学和光电化 ［］ 7 学性质 ，发现直接热氧化法能得到最佳的光阳极和最高的光电转换效率，但未研究氧化膜的 阻抗性质和光电催化性能。Camara 等中运用电化学阻抗谱技术研究了钛金属在400 C 氧化较 ［］ 6 短时间（小于45 min ）氧化钛膜的电化学和电性质 ，但未研究它们的光电和光电催化性能。 深入掌握半导体和半导体/ 电解质界面性质对于半导体的制备、光电转换和光电催化降解 污染物等领域具有重要的理论意义和应用价值。电化学方法尤其是电化学阻抗谱，因其灵敏 度高、小幅电信号扰动、测量频率宽等优点，而能获得更准确更多的电极界面信息，成为国际上 ［，］ 电化学研究中的一种十分有用的手段8 9 。本文采用多种表征手段并结合电化学阻抗谱对在 不同温度和时间下，直接热氧化制备钛氧化膜的结构、电化学性质及其相互关系进行了研究。 # 研究方法 # . 氧化钛膜的制备及表征 工业纯钛片 （厚度 ，含量不小于 ），切割成 （样品 ）和 TA1 0 . 15 cm