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立式高真空MOCVD装置CaN外延生长与器件制备.pdf
真 空 科 学 与 技 术 学 报 第 卷 第 期
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立式高真空!#$% 装置及 ’( 外延生长与器件制备
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朱丽萍 叶志镇 赵炳辉 倪贤锋 赵 浙
（浙江大学硅材料国家重点实验室 杭州 )*++,- ）
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摘要 自行设计了一套具有创新性的研究型立式高真空!#$% 装置，能够较好的调节反应气体的流动状态，从而在衬
底上生长大面积均匀的外延层。利用该装置在蓝宝石和硅单晶衬底上成功地生长出高质量的’( 晶体薄膜。在蓝宝石衬底
上生长出 、型 以及多量子阱多层结构材料，并成功制备了 基多层量子阱结构的蓝光发光二极管，性能良好，具有
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实用价值。
关键词 !#
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