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载荷对含Cr碳膜摩擦磨损性能影响研究.pdf
第33卷第3期 兵 工 学 报 V01．33No．3
l ACTAARMAMENTARII Mar． 2012
20 2年3月
载荷对含Cr碳膜摩擦磨损性能影响研究
葛培林1一，张海军1’2，刘小萍1，鲍明东2，于磊3，孙海林3
(1．太原理工大学表面工程研究所，山西太原030024；2．宁波工程学院材料工程研究所，浙江宁波315016；
3．浙江汇锦梯尔镀层科技有限公司，浙江临安311305)
摘要：用闭合场非平衡磁控溅射技术制备了高硬度含cr碳膜。分别用压入法和划痕法测定
了薄膜的结合强度。薄膜厚度用球坑法表征。用显微硬度计测定了薄膜的努氏硬度。在不同载荷
条件下，用Ball．on．disc球盘磨损试验机研究了薄膜的摩擦系数、比磨损率的变化规律。分析讨论
了载荷对含cr碳膜摩擦磨损性能的影响。结果发现：随着载荷的提高，对磨钢球时薄膜的摩擦系
数呈下降趋势．对磨损轨迹和对磨球磨损表面的扫描电镜(SEM)观察发现存在转移膜现象。对磨
球磨损表面的EDX分析结果进一步证明了转移膜的存在。文中还对含cr碳膜磨损机理进行了分
析和讨论。
关键词：材料表面与界面；磁控溅射；碳膜；抗磨；减摩
中图分类号：THll7 文献标志码：A
ontheEffectofLoadonFrictional
Research
Wearof CarbonFilms
Cr-containing
lei Hai-lin3
GE 3，SUN
Pei．1inl一，ZHANGHai．junl”，LIUXiao．pin91，BAOMing．don92，YU
ofSurface of
(1．Institute Engineering，TaiyuanUniversityTechnology，Taiyuan030024，Shanxi，China；
2．InsitituteofMaterials ofTechnology，Ningbo315016，Zhejiang，China；
Engineering。NingboUniversity
311
Co．Ltd．，Lin’an
3．ZhejiangHuijin—TeerCoatingsTechnology 305，Zhejiang，China)
hardness carbonfilmsare aclosedunbalancedfield
Abstract：The
high Cr—containing depositedusing
is Rockwellindentationand
ion filmadhesionevaluated
magnetronsputterplatingsystem．The using
ismeasuredaballratertester．Thehardnessoffilms
scratchmethods．Thethicknessoffilms usin
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