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第19卷第5期 传感技术学报 VoI．19No．5
CHINESE OFSENSORSANDACTUATORS
2006年10月 JOURNAL 0ct．2006
Sol—ESDMethod
ofPZTFilmson Fiber
Preparation Opticalby
’)阿％一lei，WUJian—hua，CHUJia-ru’
230027，China)
Precision andPrecisionInstrumentation，USTC，Hefei
(Depammentof Machinery
isintroducedto PZTfilmson fiber
Abstract：Electrostatic preparing optical
spraydeposition(ESD)method
andmechanismofthismethodiS effectof
surface．Thecharacteristics precursor
analyzed．The
tion．substrate andheattreatmentonthesurface ofPZTfilmis
temperature quality
filmsobtained．
the are and are
processingparametersoptimizedgoodquality
control
words：Sol-ESD；PZTfilms；warm-uptemperature
Key
EEACC：0520
溶胶一电雾化法在光纤表面制备PZT薄膜
吴亚雷，吴建华，褚家如”
(中国科学技术大学精密机械与精密仪器系，合肥230027)
摘 要：首次提出了使用溶胶一电雾化法在光纤表面制备PZT压电陶瓷薄膜，分析了光纤表面PZT压电陶瓷薄膜的成膜机
理与特点，系统的研究了溶胶一电雾化法制备PZT压电陶瓷薄膜的特点，并分析了前驱液浓度、电雾化条件、PZT压电陶瓷薄
膜沉积过程温度等因素对于PZT压电陶瓷薄膜的表面质量的影响．针对整个工艺过程进行了优化，最终得到了表面质量较好
的PZT压电陶瓷薄膜．
关键词：溶胶一电雾化法；PZT薄膜；升温控制
中图分类号：TN304．054 文献标识码：A
锆钛酸铅Pb(Zrx，Til、。)03是I、慨俗当中重要膜，尤其是PZT薄膜，受到越来越多的关注．
的驱动和传感材料，与压电聚合物、氧化锌等其他压 G．Yi等人使用提拉法在镍合金丝和光纤表面
电材料相比，锆钛酸铅具有压电系数高、驱动力大等
优点．以锆钛酸铅(PZT)为驱动材料，制作各种微操中添加PZT粉末使单层厚度增加，并最终在光纤表
作器、微传感器越来越引起人们的兴趣．近年来，随着
微纳技术的发展，微型器件的制作方法已经超出了传 备的PZT薄膜厚度难以控制，薄膜结
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