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EBSD分析技术及其在材料科学研究中的应用.pdf
!!!!!!!!!汽车工艺与材料
·试验研究· %’()(*+,! ’!-./(,(01 2 )3’!4+5,
文章编号: ( )
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!#$ 分析技术及其在材料科学研究中的应用
黄文长,冯继军
(东风汽车有限公司 工艺研究所,湖北 十堰 !!## $)
摘要:介绍了,-./ 技术的基本原理、试验分析方法。通过安装,-./ 附件的扫描电子显微镜,可以对块状样品进行
亚微米级的晶体结构进行分析,使显微组织形貌观察、微区化学成分分析及晶体学数据分析相互联系起来,拓展了扫
描电子显微镜的功能及应用。
关键词: 分析技术;材料;科学;应用
,-./
中图分类号: 文献标识码:
012234 5
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晶体内沿空间所有方向发射散射电子束。散射束的
6 前言
强度随散射角增大而减小,构成衍射花样的背底强
技 术 即 电子 背 散 射 衍 射 ( 度。当这些散射电子束和晶体中某一晶面( )之间
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)技术是 世纪 年代问世, 正好符合布拉格衍射条件( )时,将发生
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并在 年代初开始实现商用化的微观分析新技术。 相干散射即衍射。由于散射电子束的方向是任意的,
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类似于 射线能谱仪( ), 系统目前可作为 因而产生的衍射束将出现在一对圆锥上。而衍射束
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