F3粒子与材料的相互作用.pptVIP

第三章粒子与材料的相互作用 粒子与材料的相互作用：是指具有一定能量的粒子碰撞固体表面或射入固体内部时产生的物理、化学现象和过程。粒子包括电子、原子、原子团、分子、离子、光子、中子等。电子学中的粒子主要是指电子、离子和光子。粒子能量在几百万电子伏以下。 入射电子的散射、反射、吸收和衍射，是电子显微镜和电子衍射仪的物理基础。 第一节 电子束与材料的相互作用 电子束与固体的相互作用：入射电子的散射、入射电子对固体的激发、受激发粒子在固体中的传播。 一、散射 当一束聚焦电子束沿一定方向入射到试样内时，由于受到固体物质中晶格位场和原子库仑场的作用，其入射方向会发生改变，这种现象称为散射。 入射电子照射固体时将与固体中的电子、原子核等相互作用而发生散射。 1.弹性散射。如果在散射过程中入射电子只改变方向，但其总动能基本上无变化，则这种散射称为弹性散射。弹性散射的电子符合布拉格定律，携带有晶体结构、对称性、取向和样品厚度等信息，在电子显微镜中用于分析材料的结构。 入射电子与原子作用为主要过程时，一般电子的能量损失与入射电子相比可以完全忽略。因此，原子核对电子的散射一般可视为弹性散射。如，100ev电子对于小角度散射，其能量损失在10-3-10-1ev的范围。 2.非弹性散射。如果在散射过程中入射电子的方向和动能都发生改变，则这种散射称为非弹性散射。在非弹性散射情况下，入射电子会损失一部分能量，并伴有各种信息的产生。非弹性散射电子：损失了部分能量，方向也有微小变化。用于电子能量损失谱，提供成分和化学信息。也能用于特殊成像或衍射模式。 入射电子与原子中的电子作用为主要过程时，由于作用粒子的质量相同，散射后能量发生显著变化，此过程称为非弹性散射。同时，入射电子把部分能量转移给原子，引起原子内部结构的变化，产生各种激发，统称为电子激发。 3.散射截面 （1）弹性散射截面。入射电子被原子核散射时，散射角αn的大小与瞄准距离（电子入射方向与原子核的距离）rn、原子核电荷Ze以及入射电子的加速电压U有关，具体为： αn =Ze/Urn 或 rn=Ze/ αn U 由于弹性散射的电子能量等于或者接近于入射电子能量， 因此是透射电镜中成像和衍射的基础。 由此可知，入射电子作用在以原子核为中心、rn为半径的圆内时，将被散射到大于αn以外，所以采用πrn2来作为散射截面。 由于电子与原子核的作用表现为弹性散射，所以πrn2叫做弹性散射截面，用σn表示。 σn = πrn2 原子核对电子的非弹性散射： 入射电子被库仑电势制动而减----非弹性散射； 损失的能量： △E → X 射线 由于能量损失不固定,X 射线波长无特征值.波长是连续的,不能用来分析,反而在X 射线谱上产生连续背底。 二、电子与固体产生的信号 电子与固体的作用区：弹性散射和非弹性散射同时发生。前者使电子偏离原来方向引起电子在固体中散射；后者使电子能量逐渐减小，直接被固体吸收，从而限制了电子在固体中中的扩散范围，这个范围称为电子与固体的作用区。 SEM中的三种主要信号 二次电子：由样品中原子外壳层释放出来，在扫描电子显微术中反映样品上表面的形貌特征。 背散射电子：入射电子在样品中经散射后再从上表面射出来的电子。反映样品表面不同取向、不同平均原子量的区域差别。 X射线：入射电子在样品原子激发内层电子后外层电子跃迁至内层时发出的光子。 其他信号 俄歇电子：入射电子在样品原子激发内层电子后外层电子跃迁至内层时，多余能量转移给外层电子，使外层电子挣脱原子核的束缚，成为俄歇电子。 透射电子 :电子穿透样品的部分。这些电子携带着被样品吸收、衍射的信息，用于透射电镜的明场像和透射扫描电镜的扫描图像, 以揭示样品内部微观结构的形貌特征。详细的介绍见本书第二篇第九章电子衍射和显微技术部分。 各种信号的深度和区域大小 电子吸收：由于库伦力相互作用，入射电子在固体中的散射比X射线强得多，同样对电子的“吸收”也快得多，随着激发次数的增多，入射电子的动能逐渐减小，最终被固体吸收。 例题：光子束入射固体样品表面会激发六种主要信号? 它们有哪些特点和用途? 答： 1)背散射电子:能量高；来自样品表面几百nm深度范围；其产额随原子序数增大而增多.用作形貌分析、成分分析以及结构分析。 2)二次电子:能量较低；来自表层5-10nm深度范围；对样品表面化状态十分敏感。不能进行成分分析.主要用于分析样品表面形貌。 3)吸收电子:其衬度恰好和SE或BE信号调制图像衬度相反;与背散射电子的衬度互补。吸收电子能产生原子序数衬度，即可用来进行定性的微区成分分析. 4)透射电子：透射电子信号由微区的厚度、成分和晶体结构决定.可进行微区成分分析。 5)特征X射线: 用特征值进行成分分析，来自样品较深的区域。