FTIR监测金刚石薄膜生长的研究.pdfVIP

第28卷，第5期 光谱学与光谱分析 200 and 8年5月 SpectroscopySpectralAnalysis May，2008 FTIR监测金刚石薄膜生长的研究 张先徽1’2，冯克成¨，孙岳1，王兴权1，孙秀平1，杨思泽2 1．长春理工大学理学院，吉林长春130022 2．中国科学院物理研究所，北京100080 摘要用电子回旋共振等离子体(E(’R)系统，在气压、衬底温度以及微波功率等外界条件不变的情况下， 仅改变甲烷浓度制备金刚石薄膜，利用傅里叶红外吸收光谱仪(FTIR)对甲烷浓度为6％的ECR系统进行实 时监测，分析研究了不同沉积时间条件下。甲烷和氢气产生的等离子体对薄膜早期成核、生长过程以及衬底 的影响，并结合Raman光谱X射线衍射(XRD)和扫描电镜(SEM)对金刚石薄膜进行了分析。 关键词金刚石薄膜；电子回旋共振系统}傅里叶红外吸收光谱仪；X射线衍射仪 中图分类号：0