UHVCVD SiGe外延设备真空腔室及自动传输系统设计.pdfVIP

材料制备工艺与设备 ■昌‘j璺曼曼笪笪舅曼笪笪篓笪篡篡豳团—二巴i：三j生耄毯暑望 堑整型鱼三茎皇塑鱼 UHVCVD SiGe外延设备真空腔室 及自动传输系统设计 王慧勇，魏唯，宁宗娥 1 (中国电子科技集团公司第四十八研究所，湖南长沙41011) 摘 要：介绍了UHVCVDSiGe外延设备真空腔室及自动传输系统的具体设计，通过合理选取预 备室和反应室的真空泵组．满足了设备的超高真空要求，自动传输系统则保证了反应室高洁净环 境、提高外延生产效率。 关键词：自动传输系统；预备室；反应室；超高真空 中图分类号：TN305 文献标识码：B VacuumChamberandAutomaticTransferof