ZnO薄膜制备工艺的研究进展.pdfVIP

Vbl．27 第27卷第8期 电 子 元 件 与 材 料 No．8 COMPONENTSANDMATERIALS 2008年8月 ELECTRONlC Aug．2008 Zno薄膜制备工艺的研究进展 马越雷，赵汝明 3) (大连化工研究设计院，辽宁大连11602 摘要：从zn0晶体结构入手，介绍了zn0薄膜制备工艺的研究现状与进展，包括基片的选择，缓冲层的影响， 薄膜极性的控制与制备技术．并指出基片的选择、薄膜的成核生长过程与界面问题仍是今后研究的重点。