EUV成像仪极间串扰和伪信号触发计数修正.pdf

第20卷第12期 光学精密工程 V01．20No．12 andPrecision 2012年12月 optics Engineering Dec．2012 文章编号 1004—924x(2012)12—2674一06 EUV成像仪极间串扰和伪信号触发计数修正 王晓东1*，朱小明1’2，吕宝林1，刘文光1 (1．中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，吉林长春130033；2．中国科学院大学，北京100039) anode) 摘要：为了提高极紫外(EuV)光子计数成像仪的分辨率，分析了EuV成像仪系统wsz阳极(wedgestripzigzag 不同条带间的极间串扰以及非目标能量区问内信号触发产生的伪信号对图像质量的影响。讨论了串扰产生的原因，通 过测量极问电容，找到了串扰系数所在的范围，并最终确定最优值；使用该系数对不同能量范围内的光子进行处理，确定 了合适的能量区间(上下限)。在设定的能量区间重新成像并与原图像进行对比，结果显示图像质量有了明显提高。通 过消除极闯串扰和剔除混杂在图像数据中的伪数据，使图像的边缘特性更强，提高了图像分辨率。 关键词：极紫外成像仪；光子计数成像仪；极间串扰；伪信号触发；能量上下限；边缘特性 中图分类号：TP391．4；TH74文献标识码：A doi：10．3788／0PE2674 ofcrosstalkandfake ofEUV Correction trigger imager signal WANG Bao一1inl，LIU Xiao—dong“，ZHUXiao—min91”，L0 Wen—guan91 (1． M已c矗以，zics岔咒d C矗以7zgfA“，zJ九s芒i￡“f已o，0pfics，Fi以P P^ysif5， C矗Z九gsP 30033，C矗幻哩口； Af以d已，扎yo，ScigncPs，C^以扎gc^“挖1 100039，C^i他倪) 2．Uki口Prsi芒yo，C矗i咒8s8Ac以demyo厂SczP行f8s，BP巧i7zg *Corr已s声。九di以g乜“f^or，上1-埘aiZ：tun，29zd@ci07n声．晓c．c，2 orderto the ofanExtreme ima— Abstract：In resolution improve Ultravi01et(EUV)photoncounting ger，this theinfluenceofthecrosstalkbetween and paperanalyzed WedgeStrip thefalse resultedfrom on reasonswhichcausedthe First，the t