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JCD-D1800太阳能集热管连续镀膜生产线简介 王光华 （沈阳百乐真空技术有限公司） 摘要 JCD-D1800太阳能集热管连续镀膜生产线是沈阳百乐真空技术有限公司研制的新型太阳能真空集热管生产设备，本设备已申请2项发明专利（申请号为：CN200820011373.9，公开号：CN201176455）。本文主要介绍该新型生产线的一些基本数据，以便相关企业在设备选型时进行参考。 关键词 太阳能集热管 集热管连续镀膜生产线 1 设备性能与技术参数 本设备采用磁控溅射方法在玻璃管上镀制选择性太阳能吸收涂层，镀膜线采用模块结构，可根据需要增减镀膜室数量。采用链条传动，工件架车进入真空室后形成封闭环（该结构已申请发明专利），保证所镀玻璃管颜色一致。磁控溅射靶位圆柱式旋转靶，立式安装，靶管更换方便，所镀膜层均匀。真空系统主泵采用扩散泵。从进管到出管整个过程为工控机—PLC控制，抽真空、工件传动、镀膜过程均为自动控制。 主要技术指标： 机构型式：立式，双端连续镀膜生产。 整机极限真空度：8×10-4Pa，工作真空度：8×10-3Pa。 镀管规格：Φ47×1800。 每架车装管数量45支，在线总数量：45×7=315支。 工作节拍：架/6min每架可装45支玻璃管，设计日产量10000±10%支/天。 工件架车在镀膜室内传输速度0.5~5m/min，速度可调。 玻璃管自传速度：3~30r/min。 磁控靶数量13支，其中铜 靶2支、不锈钢靶2支、铝靶9支。 电源数量：直流逆变30kW/台，12台。 10）占地面积：17m×10m。 11）总功率：507kW，其中真空机组135kW，传动12kW，电源360kW，实际使用功率240kW。 12）升压率：≤0.5Pa/h。 13）循环水用量：40m3/h。 2 镀膜线组成 镀膜线主要组成部分： 进管室门阀（1）——进管室——门阀（2）——镀膜室1（铜铜）——门阀（3）——镀膜室2（铝钢）——门阀（4）——镀膜室3（铝钢）——门阀（5）——镀膜室4（铝铝铝）——门阀（6）——镀膜室5（铝铝铝）——门阀（7）——出管室——门阀（8）。 2.1 进出管真空室各1个，镀膜室5个。 2.2 翻板门阀8个。 2.3 真空室内环轨7套，升降轨8套，导向轨道14套，外循环物流轨1套。 2.4 在线可移动工件架车7套，每套可装管45支。 2.5 室内驱动工件架车装置7套，室外驱动装置5套。 2.6真空系统 进管室：配JKQT—600扩散泵机组1套，其中KT—600扩散泵1台、ZJP—600罗茨泵1台、2X—70旋片泵4台、2X—15维持泵1台。 出管室：ZJP—300罗茨泵1台、2X—70旋片泵3台。 镀膜室：每个镀膜室配JKQT—600扩散泵机组1套，其中KT—600扩散泵1台、2X—70旋片泵1台。 2.7 磁控靶：铜靶2支、不锈钢靶2支、铝靶9支。 2.8 电控：触摸屏人机对话，可编程控制器（PLC）控制，与工控机联用。 3真空室一般技术指标 材料：真空室壁和真空室内部分部件采用不锈钢材料，传动系统中的传动轴采用40Cr调质。 4 镀膜线构成部件简要说明 4.1 进出管区（真空室外）：主要功能是装卸玻璃管，实现物流连续作业。 4..1.1 装有与地面固定的3套独立链条传动装置，通过链条上的拨片与架车上的拨片带动架车移动，将玻璃管架车输送到进管室。 4.2 进管室：该室的作用是将玻璃管转架去气、抽真空，该室具有较大的抽气速度，能在6分钟内将该室真空度抽至≤1×10-2Pa。 主要功能和作用是： 把待镀的工件架，从大气接入真空室内。其工作过程是：门阀1接到命令后立即打开，将工件架快速移动到指定位置，门阀1接到工件架到达指定位置后的指令马上关闭，真空机组立即对该室抽真空；当其真空度达到8×10-3Pa时，门阀2打开，传动系统将工件架传送到镀膜室1中，到达指定位置后，门阀2接受指令立即关闭，这时设在该室的真空放气阀打开，在真空室内放入大气破坏真空，准备迎接第二片工件架进入该真空室完成下一个循环。在整个镀膜过程中，这种循环反复不停地进行。每循环一个周期，即为该生产线的生产速率，决定该生产线的产量。 4.3 镀膜室1：该室为高真空室，它的主要功能是把进片室内的工件架快速移入该室，为进片室快速破坏真空创造条件；另一方面为玻璃管镀一层金属红外反射膜。该室装有2支铜靶和1支铝靶，铝靶排布在真空室中间，铜靶在左右两侧，镀铜膜之前先镀一层粘结层（AlN）。该室下部装有主轴链轮传动装置，工件架车进入镀膜室后形成封闭环形，每个自转轴上装有一个链轮，链轮围绕固定链条盘移动，以实现自传，自转速度可调，根据镀膜工艺需要镀膜，镀膜完成后，导向轨道变向，门阀3打开，镀膜室1内传动装置与镀膜室2中的传动装置一起启动，将工件架由镀膜室1传送到