刻蚀fortix manual代码表.xlsVIP

Sheet3 Sheet2 Sheet1 刻蚀fortix manual代码说明 指令代码 代码含义 注解 LD M/Z CONVEYOR CW/CCW(F) LD M/Z LIFTER UP/DN(F) LD M/Z STOPPER UP/DN(F) LD ELEVCONVEYOR CW/CCW(F) LD ELEVM/Z TOP_CLAMP OP/CL(F) LD ELEVM/Z BTM_CLAMP OP/CL(F) LD M/Z OUT CONVEYOR CW(F) LD M/Z ELEVS/M POS(F) LD M/Z ELEVPITCH UP/DN(F) LD M/Z CONVEYOR CW/CCW(R) LD M/Z LIFTER UP/DN(R) LD M/Z STOPPER UP/DN(R) LD ELEVCONVEYOR CW/CCW(R) LD ELEVM/Z TOP_CLAMP OP/CL(R) LD ELEVM/Z BTM_CLAMP OP/CL(R) LD M/Z OUT CONVEYOR CW(R) LD M/Z ELEVS/M POS(R) LD M/Z ELEVPITCH UP/DN(R) WAFER INSERT RAIL FWD/BWD INSERT RAIL RUN/STOP MAIN RAIL RUN/STOP MAIN RAIL GUAING POSMOVE LD M/Z TRANSFER POSMOVE LD WAFER SORTING RAIL ALL UP/DN LD WAFER SORTING RAIL 1 UP/DN LD WAFER SORTING RAIL 2 UP/DN LD WAFER SORTING RAIL 3 UP/DN LD WAFER SORTING RAIL 4 UP/DN LD WAFER SORTING RAIL 5 UP/DN LD WAFER SORTING RAIL 6 UP/DN LD WAFER SORTING RAIL 7 UP/DN LD WAFER SORTING RAIL 8 UP/DN LD WAFER SORTING RAIL ALL RUN LD WAFER SORTING RAIL 1 RUN LD WAFER SORTING RAIL 2 RUN LD WAFER SORTING RAIL 3 RUN LD WAFER SORTING RAIL 4 RUN LD WAFER SORTING RAIL 5 RUN LD WAFER SORTING RAIL 6 RUN LD WAFER SORTING RAIL 7 RUN LD WAFER SORTING RAIL 8 RUN LD WAFER MIDDLE CONV1 RUN LD WAFER MIDDLE CONV2 RUN END ROLLER RUN/STOP LD M/Z ELEVATOR HOME(F) LD M/Z ELEVATOR HOME(R) LD M/Z ELEVATOR TRANSFER HOME MAIN RAIL GAUGING HOME LD WAFER SORTING_Z 1 HOME 硅片箱的输入传送带运转/停止（前侧） 加载硅片箱的托盘上升/下降（前侧） 加载硅片箱的后挡板上升/下降（前侧） 升降机传送带运转/停止（前侧） 升降机中硅片箱的上锁扣打开/关闭（前侧） 升降机中硅片箱的下锁扣打开/关闭（前侧） 硅片箱的输出传送带运转/停止（前侧） 硅片箱的输入传送带运转/停止（后侧） 加载硅片箱的托盘上升/下降（后侧） 加载硅片箱的后挡板上升/下降（后侧） 硅片箱的输出传送带运转/停止（后侧） 装硅片箱的升降机位置（后侧） 装硅片箱的升降机以固定距离上升/下降（前侧） 装硅片箱的升降机以固定距离上升/下降(后侧) 主传送带运转/停止 主传送带使硅片摆正位置的部件移动 使花篮位置左右移动 所有硅片传送轨道上升/下降 硅片传送轨道1上升/下降 硅片传送轨道2上升/下降 硅片传送轨道3上升/下降 硅片传送轨道4上升/下降 硅片传送轨道5上升/下降 硅片传送轨道6上升/下降 硅片传送轨道7上升/下降 硅片传送轨道8上升/下降 所有硅片轨道运转 硅片传送轨道1运转 硅片传送轨道2运转 硅片传送轨道3运转 硅片传送轨道4运转 硅片传送轨道5运转 硅片传送轨道6运转 硅片传送轨道7运转 硅片传送轨道8运转 所有中间硅片传送带运转 中间硅片传送带1运转 中间硅片传送带2运转 末端滚动轴运转/停止 硅片箱的升降机回到原始位置（前侧） 硅片箱的升降机回到原始位置（后侧） 装硅片箱的升降机左右移动的部件回到原始位置 主传送带使硅片摆正位置的部件回到原始位置 分批传