微细特种加工的最新研究进展.pdfVIP

《电加工与模具》2006 年第 3 期 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　综述·专稿 微细特种加工的最新研究进展 1 2 3 陈伦军 , 李 　刚 , 赵万生 ( 1. 贵州大学机械工程学院 ,贵州贵阳 550003 ; 2. 哈尔滨工业大学机电学院 ,黑龙江哈尔滨 150001 ; 3. 上海交通大学机械与动力学院 ,上海 200030 ) 　　摘要 : 综述了国内外微细特种加工研究的最新进展 ,介绍了微细特种加工领域出现的新技术、 新方法。指出了微细特种加工在微细加工中的优势 ,展望了微细特种加工的发展方向及其在微小 零件制造中的应用前景。 关键词 : 微细加工 ;微细特种加工 ;微小零件 中图分类号: TG66 Recent Research Progress in Micro NonTraditional Machining Chen Lunjun 1 , Li Gang2 , Zhao Wansheng3 ( 1. Guizhou University , Guiyang 550003 , China ; 2. Harbin Institute of Technology , Harbin 150001 , China ; 3. Shanghai Jiaotong University , Shanghai 200030 , China ) Abstract : This paper describes the recent research pro gress in micro nontraditional machining ( microN TM) , and introduces the new technologies and new processes in microN TM. The advantage of microN TM in micromachining was pointed out . The prospective pro gress of microN TM and its potential application in micro parts manufacturing is discussed as well. Key words : micromachining ;microN TM ;micro parts 　　小型化、微型化是 21 世纪产品发展的主要趋 1 　微细电火花加工 势。微小零件、微小装置在半导体工业、生物技术、 微细电火花加工的原理与普通电火花加工基本 微电子工业、远程通讯以及医疗行业中得到了越来 相同 ,都是基于电极和工件之间脉冲性火花放电时 越广泛的应用。目前 ,微细加工技术的研究大多集 的电腐蚀现象来蚀除多余的材料 , 以达到对零件的 中在半导体制造工艺、光刻技术、MEMS 和 L IGA 尺寸、形状及表面质量预定的加工要求。理论上讲 , 技术上 ,并且取得了相当大的进展。但是 ,这些加工 只要精密地控制单个脉冲的放电能量并配合精密微 方法设备昂贵 ,只适用于大批量生产 ,且只能加工结 量进给就可实现极微细的材料去除 ,可以加工微细 构简单