电容式传感器微电容检测电路的研究.pdfVIP

摘要：基于 MEMS技术研制的微电容传感器，其有效电容的实际变化量仅为飞法级。实验表明，二元调 宽式信号拾取专用集成电路BH5001 为检测微电容变化量建立了一个高信噪比的平台，结合优良的巴特沃 斯低通滤波器和高品质的差动放大器，即可完成微电容的检测。 关键词：电容传感器；微电容 检测电路；二元调宽；信号拾取；BH5001 中图分类号：TP212.1 文献标识码：B 文章编号：1006-883X(2008)03-0046-04 蒋家云 富宝龙 一、引言 在基于MEMS 技术研制的微电容式传感器，如硅电容式微机械加速度传感器、硅电容式表面微机械陀螺 -15 -16 -17 中，有效电容的实际变化量在飞法级（1fF=10 F ），甚至低达10 或10 F 级（即0.1 fF 或0.01 fF ）。这即 是真正的微电容检测，其测量难度是显而易见的。因此，要进行微电容检测，检测电路必须具备以下特点： 分辨率要高，灵敏度要稳定；极低的漂移（包括温漂和时间漂移）；对分布电容不敏感；工作频率范围与通 C (C − ) 1 2 的 用电路器件良好兼容；对外界电场干扰不敏感；针对实际的差动电容式传感器，电路信号输出是 ( C )C + 1 2 函数关系；电路复杂性低，易于集成。 二、电容式传感器检测电路方案简述 Kanno 在1980 年将常用的电容检测电路分成四种类型：振荡式(oscillation)、谐振式(resonance)、AC 桥式 (AC bridge)、充/放电式(charge/discharge) 。 振荡器式检测电路的突出特点在于电路简单，易于实现，而主要缺点一是频率稳定性不高，二是分布电 容、杂散电容的影响将叠加到所测量的电容中。因此，一般所需检测分辨率高于 0.01pF 的场合不宜采用此方 案。 谐振法能精确测试电容值，尚能测试泄漏电阻Rx 并计算Q 值。但是本方案的主要缺点在于需要进行谐振 状态的调谐，因此，这种检测原理多用于实验室分析仪器中，而对于在线实时测量的电容式传感器一般很少 采用。 基于运算放大器的半桥式检测电路是目前常用的电容检测电路之一，比较突出的特点是电路抑制寄生电 容的能力较强，分辨率较高（据文献报道，电容检测的分辨率可达到 0.035fF ）。其缺点则是电路复杂，需要 幅值稳定的高频激励信号源以及采用高品质运算放大器，造价昂贵，工作频率高时尤为突出；同时，电路集 成的难度也大。 充放电式检测电路可采用 CMOS 工艺实现集成，目前该电路的测量精度可达 0.3fF 。充/放电式检测电路 是本文重点，下面详细介绍一下。 46 传感器世界 2008.3 Products Feature 典型的充放电式电容检测电路如图1 所示。其中C 为被检 充电，C 上电压渐升，一旦达到电路控制电平值，信号处理 x 2 测电容