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射频磁控溅射法制备FCZnO杂化材料及其基本性质.pdf
第59卷第6期 化 工 学 报 V01．59No．6
2008年6月 JournalofChemical and 2008
IndustryEngineering(China)June
射频磁控溅射法制备FC／ZnO杂化材料
及其基本性质
张浴晖1’2，齐宏进3
(1青岛人学化学化工学院，山东青岛266071；2东华大学牛态纺织教育部重点实验室，上海200051；
529020)
3五邑大学纺织服装系，广东江f-j
摘要：采用射频磁控溅射法，首先以聚p11氟乙烯(PTFE)为靶，氩气为载气，在聚对苯二甲酸乙二醇酯
(PET)基底上沉积氟碳(Fc)膜；然后以金属锌为靶，氩气为载气，氧气为反应气体，在FC膜上再沉积一层
性质进行了研究。结果表明。该法制得的杂化材料是由纳米粒于组成的岛状结构，岛的表面起伏不平。其生长
模式是一种依附于有机核的沉积一扩张生长。杂化材料具有较好的紫外吸收特性，这是由于其分子结构中含有小
兀共轭双键、表面的不平整性以及纳米氧化锌粒子对紫外光的吸收共同作用的结果。静态水接触角均人于90。，
呈现出良好的疏水性。
关键词：磁控溅射法；杂化材料；表面形貌；紫外吸收；表碡f结构；接触角
中图分类号：O484．1 文献标识码：A
materials RF
FC／ZnO
Hybrid preparedby sputtering
andtheirbasic
properties
ZHANG in3
Yuhuil．一，QIHongj
(1InstituteChemical
of Engineering，QingdaoUniversity，Qingdao266071，Shandong，China；
2
Education．
KeyLaboratoryofScienceTechnologyofEco—Textile．Ministryof
200051，China；3 Textile and
DonghuaUniversity，ShanghaiDepartmentof Engineering
Clothing，WuyiUniversity，Jiangmen529020，Guangdong，China)
this materialswere radio
Abstract：In
paper，FC／ZnOhybrid preparedby
thefirst filmswere RF
step，fluorocarbondepositedby sputtering
on oxide
wasusedasthe
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