基于TDLAS技术的工业环境中HF气体在线监测.pdf

· 光电子 激光 第 卷第 期 年 月 · ２２ １１ ２０１１ １１ Ｖｏｌ．２２Ｎｏ．１１ Ｎｏｖ．２０１１ 　　　　　　 　 　 ＪｏｕｒｎａｌｏｆＯ ｔｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ Ｌａｓｅｒ 　 　 ｐ 　　　　　　　　 基于 技术的工业环境中 气体在线监测 ＴＤＬＡＳ ＨＦ ＊ ， ， ， ， ， ， ， ， 张志荣 董凤忠 吴 边 田明丽 庞 涛 涂郭结 夏 滑 王 煜 倪志波 　 　 　 　 （ ， ， ） 中国科学院安徽光机所 安徽省光子器件与材料重点实验室 安微合肥 ２３００３１ ： （ ） ， 摘要 采用１．３３０ ｍ 附近波长的近红外可调谐分布反馈 ＤＦＢ 激光器作为光源 结合波长调制技术和长光程技 μ ， 。 ， 术 实时监测工业环境中的ＨＦ气体浓度 同时采用Ａｌｌａｎ方差分析系统的稳定性 选择利用非线性最小二乘 法和防脉冲滑动平均滤波等技术手段， ， 、 ， 长时间测试结果表明 该系统具有实时 连续和非接触快速检测的特点 、 ， 。 并且具有大范围 分布式监测的能力 可以满足工业环境中 ＨＦ气体无组织排放安全检测的需求 ： （ ）； ； ； ； 关键词 可调谐激光吸收光谱 ＴＤＬＡＳ 在线监测 Ａｌｌａｎ方差 数字滤波 ＨＦ气体 中图分类号： 文献标识码： 文章编号： （ ） Ｏ４４３．１ Ａ １００５００８６２０１１１１１６９１０４ 　　 　　 － － － ＩｎｓｉｔｕｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｏｆＨＦ ａｓｉｎｉｎｄｕｓｔｒｉａｌｓｉｔｕａｔｉｏｎｂａｓｅｄｏｎＴＤ － 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 － ｇ ＬＡＳｔｅｃｈｎｏｌｏ 　 ｇｙ ＊ ， ， ， ， ， ， ＺＨＡＮＧＺｈｉｒｏｎ ＤＯＮＧ Ｆｅｎ ｚｈｏｎ ＷＵ Ｂｉａｎ ＴＩＡＮ Ｍｉｎ ｌｉ ＰＡＮＧ Ｔａｏ ＴＵ Ｇｕｏ ｉｅ 　 －