超薄金属膜在太赫兹波段的光学特性研究.pdfVIP

第32卷：第3甥 2 o1 2年3月 and March：。2012 SpectroscopySpectralAnalysis 超薄金属膜在太赫兹波段的光学特性研究 马凤英，池 泉，苏建坡’，杜艳丽，张微微，陈 明，刘建立，郭茂田，袁 斌 郑州大学物理工程学院，河南郑州450001 摘要超薄金属膜在太赫兹波段的探测器、反射镜、波导器件以及太赫兹量子级联激光器中得到了广泛 应用。超薄金属膜的光学常数不仅是这些器件设计中不可缺少的参数，而且是开发新型光电材料的一个重 要依据。文章运用太赫兹差分时域光谱技术对超薄金属铬、镍和钛膜的光学特性研究，获得其在太赫兹波段 的折射率和消光系数，并根据菲涅尔公式计算入射介质为高阻GaAs时，GaAs／Metal界面的反射谱，三种 金属在O．3～1．5 THz的波段范围内的平均反射率均超过80％。研究超薄金属膜在太赫兹波段的反射特性， 为设计性能优良的太赫兹辐射源、探测器及太赫兹光学元件奠定基础。 关键词 太赫兹差分时域光谱技术；超薄金属膜；光学参数；太赫兹光学元件 中图分类号：()484．4+1．C1431．1 文献标识码：AⅨ)l：10．3964／j．issm100∞593(2012J03-061㈣4 数呻]。相对而言，对金属膜在THz波段的光学参数研究较 引 言 少[1¨21，且都是膜厚大于loo啪的情况。当膜层更薄时，待 THz 太赫兹(Terahertz，THz)波指频率介于o．1～10 测薄膜的相位厚度很小，采用THz-TDS技术获得超薄金属 (波长30pm～3mm)的电磁辐射，其电磁波谱位于微波和红 膜的复折射率会带来很大的误差。为提高系统的灵敏度可采 外波段之间，因此，太赫兹系统兼顾电子学和光学系统的优 differentialtime缸 用太赫兹差分时域光谱技术(Terahertz 势，太赫兹辐射源也对应基于电子学的太赫兹源和基于光学 min 方法产生的太赫兹源。 Terahertztime_domain 术(angle-dependent spectroscopy)和 目前，超薄金属膜和多层膜在太赫兹波段光子器件和光 太赫兹干涉仪(Terahenz 电子器件中的应用得到了广泛关注。如：作为THz探测器的 采用太赫兹差分时域光谱法获得了o．5～2．5 THz范围内厚 吸收层【lj，用作THz反射镜口j，用于THz波导器件o“，用 度为25啪的cr，Ni和T．膜的光学参数，并计算了GaAs／ 作THz波段抗反射涂层[43等。超薄金属膜在太赫兹波段的 Metal界面的反射谱。为设计工作在THz波段的反射镜以及 光学常数不仅是这些器件设计中不可缺少的参数，而且是开 新型太赫兹源与探测器件奠定了基础。 发新型光电材料的一个重要依据。由于微尺度效应，超薄金 属膜的光学／电学特性及其参数(折射率、消光系数、吸收系