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衬底温度对MOCVDZnO薄膜特性的影响_孙小虎

4 1 6 人 工 晶 体 学 报 第 卷 第 期 Vol. 4 1 No. 6 2012 12 JOURNAL OF SYNTHETIC CRYSTALS December ,2012 年 月 衬底温度对MOCVD- ZnO 薄膜特性的影响 1 1 1 2 2 1 , , , , , 孙小虎 雷青松 曾祥斌 薛俊明 鞠洪超 陈阳洋 (1. , 430074 ;2

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