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COBPlasma机维修报告
Plasma 机维修报告
公司领导：
现在因产品KCM-1091生产工艺设变需使用COB车间所使用的Plasma Cleaner机（型号：ZMC-PS05-A 序号：ZMC-PS05-6031-A）于2010年11月开机时出现一些异常故障，现就工程部维修情况和待处理问题报告如下，请参考：（因本设备供应商已经停止生产本设备，并且相关部门已经解散。所以无法再提供任何的售后服务和技术支援）
问题一 现象：开机时XY马达回原点时出现警报，机器断电后会出现数据丢失
原因：PLC保存数据异常，运行位置数据丢失所致（见下图）
处理方法：开机后重新设定位置数据，梁明峰建议将数据保存位置由PLC移到触摸屏保存，但需要再试（因现梁明峰没时间，还没完成）
问题二：机器触摸屏经常在开机出现黑屏三：
问题四：
用于作Plasma Cleaner效果测试的Wafer盘（见下图）即将用完（因之前此设备一直未用于生产，故未做备份）因韩国供应商已经解散故无法购买。
未完成
附高周波资料：（松下电工）
MODEL：Aiplasma Cleaning
TYPE：ANUCU13S-485-MFNC
Lot No: C05064
Date: 2006.01.20
小结：基于有以上尚未完成的项目故本设备暂时不宜用于生产。
报告人：王邦俊
2011-02-12
功率显示
Plasma Cleaner火焰
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