Analysis of the thermal stress in infrared films.pdfVIP

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 . %$$( ， ， ， O=4 ). N= ) B84: %$$( （ ） #$$$0%’$E%$$(E. $ E+#*0$* FGHF IJKLMGF LMNMGF #%$$( G3P ) I: ) L=5 ) 红外薄膜中热应力的研究! ! 陈为兰 顾培夫 王 颖 章岳光 刘 旭 （浙江大学现代光学仪器国家重点实验室，杭州 #$$% ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） %$$ ’ %% %$$( # 由于红外薄膜材料和基板热膨胀系数显著不同，所以在高温基板上镀膜后降温将产生热应力，进而引起边界 分层破裂现象，影响薄膜器件的牢固性 对薄膜厚度、杨氏模量和热膨胀系数对薄膜分层破裂的影响进行了研究， ) 同时分析了薄膜设计对减小分层破裂的作用) 这对减小红外薄膜系统因热应力引起的分层破裂现象具有实际应用 价值) 关键词：多层介质薄膜，红外，热应力，分层破裂 ： ， ， ， !## *$$$ +%($, $*$- *$ 产生了垂直于膜层界面的热应力 和平行于膜层 ! ! #? 引 言 间界面的剪切力 ，在远离自由边界的区域只有平 行于界面的热应力 ，越靠近自由边界该力越小，在 ! 薄膜的应用极其广泛，但几乎所有薄膜都不同 自由边界处减小到零 热应力 是薄膜边界分层的 ) ! ! ［］ 程度地存在着应力，尤其是红外薄膜，由于它们的膜 主要原因 ) -==@A 和B2@C3 最近提出力矩可作为薄 ［， ］ 层厚、强度差，因而对薄膜的性能，特别是牢固性产 膜边界破裂的依据’ #$ ) 本文的目的在于研究薄膜 生很大的威胁) 薄膜应力主要由热应力和内应力组 厚度、杨氏模量、热膨胀系数对薄膜分层破裂的影响 成，内