多晶电池厂房特气尾气处理解决方案.pdfVIP

晶电池厂房特气尾气系统堵塞解决方案 一，问题描述： 硅烷尾气处理塔是处理硅烷、氨气及其它可溶性气体的废气净化设备，主要 用于处理晶硅太阳能电池生产线行业及化学气相沉积工艺所生产的废气。结构上 主要由壳体、填料系统、喷淋系统、水循环系统组成（如图所示）。 多晶电池厂房由于其特殊性，用到硅烷和氨气两种特种气体，由于特气尾排 系统主要是用水反应掉多晶电池车间PECVD 残余的硅烷及氨气。而水和硅烷反 应会生成二氧化 （沙和石头的主要成分），但是二氧化硅不溶于水，在接触到 固体时会附着、结晶。所以在泵体、管道、喷淋头，拉西环上都会随时间推移而 附着厚厚的二氧化 层。但附着到一定厚度时，二氧化硅会堵住水泵转动部件之 间的缝隙，造成水泵堵转。请参见下图（管路内壁堵塞上二氧化硅）： PDF 文件使用 pdfFactory Pro 试用版本创建 管路内部被积累一层二氧 化硅，造成管路内径越来 越小，出水越来越少 水泵叶轮内部一层 坚硬的二氧化 薄 膜层，非常难以去除 PDF 文件使用 pdfFactory Pro 试用版本创建 ÿ 附着在流量计内壁的 光滑坚硬的二氧化 薄膜层 拉西环已经被二 氧化 覆盖一层 由于硅烷遇空气就会燃烧，且在一定浓度下会发生爆炸。当特气尾排系统没 有水与之反应后，随时间的推移硅烷浓度越来越高，就会发生爆炸危险 （其它同 行业发生过特气尾排系统爆炸的事件）。所以该系统一定不能断水，否则就可能 会有安全事故发生。 根据统计，发生过泵浦的密封被堵塞而造成泵浦 动停机，我们总结了很多 相对应的解决方案，包括人工清洗喷头，拆开泵浦清理水泵叶轮及泵体，以及做 备用泵浦和风机等等方案； 二，事故分析与解决方案： 水泵叶轮及泵体，以及水的喷头都可以通过物理方式，人工拆开清理，但管 路内壁却无法拆开，如果长期下去，会造成出水量越来越小，直至无水出现，造 成事故，因此，一种可以溶解含有二氧化硅结垢的化学药剂去溶解，我们对堵塞 水泵和管路的结垢请相关的厂家进行分析和实验得出如下信息： 1 沉积物的构成：经过厂家对结垢物的取样分析，主要由水垢、淤泥、腐蚀 产物和生物沉积物构成。而由于水和硅烷反应会生成二氧化 （沙和石头的主要 成分），因此此种结垢和普通的结垢还不一样，除了CaCO3 外，还有大量的二氧 化 ，而要去除二氧化硅，普通的酸碱不能达到此效果，传统方法可以用HF 酸，