检测技术 教学课件 卜云峰 主编 第九章.pdfVIP

第九章 湿敏传感器 第一节 概 述 第二节 湿敏传感器的主要参数 第三节 湿敏元件 第四节 湿敏传感器的应用 第一节 概述 精密仪器、半导体集成电路与元器件制造场所，气象预 报、医疗卫生、食品加工等行业都有广泛的应用。 湿度传感器依据使用材料分类： 电解质型：以氯化锂为例，它在绝缘基板上制作一对电 极，涂上氯化锂盐胶膜。氯化锂极易潮解，并产生离子 导电，随湿度升高而电阻减小。 陶瓷型：一般以金属氧化物为原料，通过陶瓷工艺，制 成一种多孔陶瓷。利用多孔陶瓷的阻值对空气中水蒸气 的敏感特性而制成。 高分子型：先在玻璃等绝缘基板上蒸发梳状电极,通过浸 渍或涂覆,使其在基板上附着一层有机高分子感湿膜。有 机高分子的材料种类也很多,工作原理也各不相同。 单晶半导体型：所用材料主要是硅单晶，利用半导体工 艺制成。制成二极管湿敏器件和MOSFET湿度敏感器件 2 等。其特点是易于和半导体电路集成在一起。 一、湿度表示法 空气中含有水蒸气的量称为湿度，含有水蒸气的空气 是一种混合气体。主要