04bP40第四章2-4电感电容压电传感器lpj.pptVIP

相对介电常数 第四章 常用传感器原理及应用 * 电感式传感器是基于电磁感应原理，把被测量转化为电感量的一种装置。 电感式传感器分类 第二节 电感式传感器 优点：灵敏度高（能测0.1μm的位移）、线性较好 （非线性误差0.1%）、输出功率大等。 缺点：频率响应较低；测量范围越大，分辨率越低 自感式 互感式 可变磁阻式 涡流式 一、 自感式传感器 1、变气隙式 变气隙式自感传感器由线圈、铁心和 衔铁三部分组成。线圈绕在铁心上,衔铁 和铁心间有一气隙δ。 线圈 铁芯 衔铁 分变气隙式、变面积式、螺旋管式三类 见图4-4 线圈自感量L为： 线圈匝数 磁路总磁阻 (4-14) 由于δ很小，可认为气隙磁场是均匀的，若忽略磁路的铁损，则总磁阻为 线圈 铁芯 衔铁 线圈自感量L为： 线圈匝数 磁路总磁阻 (4-14) 铁芯导磁长度 铁芯磁导率 铁芯截面积 空气磁导率 气隙长度 气隙截面积 (4-15) 亨/米 这种传感器适用于较小位移的测量，测量范围约在0.001~1mm左右。 由于铁心磁阻与气隙相比要小得多，可以忽略 传感器灵敏度： (4-16) (4-17) 2 、变面积式 3 、螺管式 特点：灵敏度比变气隙型的低，但其灵敏度为一常数，因而线性度较好，量程范围可取大些，自由行程可按需要安排，制造装配也较方便，因而应用较为广泛。 铁芯 线圈 衔铁 原理：气隙长度不变，铁心与衔铁之间相对而言覆盖面积随被测量的变化而改，导致线圈的电感量发生变化， 铁芯 线圈 原理：衔铁随被测对象移动，线圈磁力线路径上的磁阻发生变化，线圈电感量也因此而变化。 特点：灵敏度更低，但测量范围大，线性也较好，同时还具备自由行程可任意安排，制造装配方便等，其应用比较广泛。 以上三种类型的自感式传感器在实际应用时，一般由两单一结构对称组合，构成差动式自感传感器。采用差动式结构除了可以改善非线性，提高灵敏度外，对电源电压及温度变化等外界影响也有补偿作用，从而提高了传感器的稳定性。 差动式电感传感器 (a) 变间隙型 (b) 变面积型 (c) 螺管型 1—线圈 2 —铁芯 3 —衔铁 4 —到杆 (a) (b) (c) 二、差动变压器式传感器 差动变压器式传感器是把被测量的变化转换成互感系数 M 的变化。传感器本身是互感系数可变的变压器。因为它是基于互感变化的原理，故也称为互感式传感器。 Ew Eout EW1 EW2 W W1 W2 Es x -x 输出电压Eout=EW1-EW2，当铁芯在中央位置时，EW1=EW2 。 单螺管线圈型 螺管线圈差动 双螺管线圈差动型传感器测量电路 ~ 差动变压器位移传感器 案例：板的厚度测量 ~ 案例：张力测量 三、电涡流式传感器 原理:将金属导体置于变化的磁场中，导体内就会产生感应电，这种电流的流线在导体内自行闭合，称为电涡流效应。 高频交变电流 线圈 交变磁通φ 电涡流 交变磁通φ1 使原线圈的等效阻抗 Z 发生变化 原线圈的等效阻抗Z变化： 金属板的电阻率 金属板的磁导率 线圈与金属板的距离 线圈激励角频率 案例：无损探伤 原理 裂纹检测，缺陷造成涡流变化。 火车轮检测 油管检测 第三节 电容式传感器 原理：将被测量的变化转化为电容量变化。 两平行极板组成的电容器,它的电容量为: ? ? + + + A 介电常数 两极板相互覆盖的面积 极板间的距离 极距变化型 面积变化型 介电常数变化型 电容式传感器的三种类型： (4-18) ?r 相对介电常数 ，空气的相对介电常数 ?r=1 真空的介电常数 ?0=8.85×10-12 F/m 介电常数 ?= ?r× ?0 1.极距变化型 + + + + + + 灵敏度 (4-19) 驻极体电容传声器 它采用聚四氟乙烯材料作为振动膜片。这种材料经特殊电处理后，表面永久地驻有极化电荷，取代了电容传声器极板，故名为驻极体电容传声器。特点是体积小、性能优越、使用方便。 最大的△δ应小于极板间距δ的1/5～1/10。因此极距变化型电容传感器的量程范围在0.01um—数百um。为了提高灵敏度和改善非线性，在实际应用中常常采用差动的形式。灵敏度可提高一倍。 2.面积变化型 在面积变化型传感器中，常用的有直线位移型和角位 移型两种。图为直线位移型。当动极板沿x方向移动 时，动、静极板覆盖面积发生变化，电容量也随之变 化。 x b 其电容量 灵敏度 =常数 (4-20) 输入与输出成线性关系 (4-21) + + + 角位移型 r r θ (a) 平面线位移型 (c) 圆柱体线位移型