光学微结构的超精密加工技术.pdfVIP

第 卷! 第 期 纳! 米! 技! 术! 与! 精! 密! 工! 程 ’() ! *’) ! #$$% 年# 月 !#$%’(#$)$*+ #, -.’/0/$# 1#*/#./#* +,-) #$$% ! 光学微结构的超精密加工技术 李荣彬，杜! 雪，张志辉，高! 栋，赵伟明 （香港理工大学工业及系统工程学系先进光学制造中心） 摘! 要：微结构光学元件在光电产品及光通讯产品中的应用日益广泛) 采用多轴超精密机床加工光学微结构，可达 到亚微米级形状精度和纳米级表面光洁度的高精度水平) 详细介绍了光学自由曲面及光学微结构的超精密加工技 术，并开发了适合超精加工微型槽和微透镜列阵的刀具轨迹自动生成软件) 关键词：超精密加工；微结构光学元件；刀具轨迹生成器 中图分类号： ./01! ! ! 文献标识码：2! ! ! 文章编号：30#4 3$%$（#$$% ）$4 $$504 $5 2)%.3-.’/0/$# 4’(/#/#* $5 67%/’) 4/’.$0%.8’%8.0 6,, 7 8 ，.’ 9 ，:;,= : ? ，@A’ + ，:;B 7 C （2DEA=-,D FGHB-I CA=JA-HKB= :,=HK, ，+,GAKHL,=H ’J M=DIHKBA( A=D 9NIH,LI O=B=,,KB= ，/’= P’= Q’(NH,-;=B- R=BE,KIBHN ，/’= P’= ，:;B=A ） 9:0%.’% ：FGHB-A( LB-K’IHK-HK,I AK, -K-BA( H’ H;, D,E,(’GL,=H ’J -’LG(,S A=D LB-K’4’GHB-A(4,(,-HK’4L,-;A=B4 -A( D,EB-,I I,D B= LA=N G;’H’=B-I GK’D-HI) .;, JATKB-AHB’= ’J ;B; UA(BHN ’GHB-A( LB-K’IHK-HK,I BI TAI,D ’= (HKA4GK,-BIB’= JK,,J’KL LA-;B=B= H,-;=’(’N V;B-; A((’VI DBK,-H LA-;B=B= ’J JK,,J’KL IKJA-,I VBH; IT4LB-K’4 L,HKB- J’KL A--KA-N A=D =A=’L,HKB- IKJA-, JB=BI;) .;, AGG(B-AHB’= ’J (HKA4GK,-BIB’= JK,,J’KL LA-;B=B= H’ H;, JATKB-AHB’= ’J ’GHB-A( LB-K’IHK-HK,I BI ADDK,II,D ，A=D H;, L,H;’D’(’B,I J’K H;, D,E,(’GL,=H ’J H;, H’’( GAH; ,=,KAH’K J’K HV’ ’GHB-A( GK’D-HI AK, DBI-II,D) ;+$.,0 ：(HKA4GK,-BIB’= LA-;B=B= ；’GHB-A( LB-K’IHK-HK, ；H’’( GAH; ,=,KAH’K ! ! 光电产品的发展日新月异) 传真机、扫描机、激光 低廉的成熟性产品，对于关键光学元件的加工技术还 指示器、光电显示器、光纤通讯等产品已形成了一个数 无法突破) 以万亿计的全球市场) 据光电科技工业协进会（QM+2 ） ! ! 光学元件是光电产品的重要组成部分之一，主要 统计［］，#$$ 年全球光电年产值达 5W 03X 亿美元， 是指相机（包括数码相机和传统相机）、数码投影机、 #$$# 年全球光电年产值达01 #XW 亿美元，预计#$$% 光碟机、影像扫描机、激光印表机、