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Influence of evaporation conditions on the structure of the polycrystalline lead iodide films.pdfVIP

Influence of evaporation conditions on the structure of the polycrystalline lead iodide films.pdf

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Influence of evaporation conditions on the structure of the polycrystalline lead iodide films

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 D’ ! #$ ! , , , F:6 +D’ Z: + ! TA[:)?\ #$ ( ) !2%#.O#$OD’ ! O’#E2D WRKW (XYV*RW V*Z*RW ##$ R95; + (97] + V:A + 蒸发条件对碘化铅多晶薄膜结构的影响! ) ) ) ) ! # ! # 李玉红 贺德衍 张 宇 李振生 !)(兰州大学核科学与技术学院,兰州 $% ) # )(兰州大学物理科学与技术学院,兰州 $% ) ( 年 月 日收到; 年 月 日收到修改稿) #$ ! %! #$ % !’ 采用真空蒸发法在普通玻璃上制备了 多晶薄膜 研究了蒸发速率、蒸发源与衬底距离、薄膜厚度以及衬底 ()*# + 温度等实验条件对所制备 多晶薄膜结构的影响 利用 射线衍射仪和扫描电子显微镜对样品进行了测试 结 ()*# + , + 果表明,在衬底温度为室温时得到( )择优取向的多晶 薄膜,即沿 轴垂直衬底方向取向生长的薄膜 当衬底 ! ()*# ! + 温度升高时,薄膜的择优取向逐渐由( )转向( ),且晶体颗粒变大 薄膜中的内应力随衬底温度的升高而降低 ! % + + 关键词:蒸发速率,衬底温度,碘化铅薄膜,多晶结构,真空蒸发 : , !## $%’- .#/0 响具有实际意义+ 本文研究蒸发速率、蒸发源与衬底 !B 引 言 距离、薄膜厚度以及衬底温度等实验条件对()*# 多 晶薄膜结构的影响+ 用高纯锗和硅制造的半导体探测器虽然取得了 巨大的成功,但它们一般只是在低温下表现出优异 # B 实 验 的器件性能 开发出在室温甚至高温下工作的半导 + 体探测器具有更重要的意义 碘化铅( )由于具 + ()*# 用经过严格清洗的普通光学玻璃做衬底,选用 高纯 粉末( )为制膜膜料,并将其放在

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