各向同性腐蚀法制备多晶硅绒面.pdfVIP

第25 卷 　第 1期 材 　料 　科 　学 　与 　工 　程 　学 　报 总第105期 Vol 2 5 　No 1 Journal of Materials Science Engineering Feb . 2 0 0 7 文章编号 2007) 各向同性腐蚀法制备多晶硅绒面 1 1 2 1 郭志球 ,柳锡运 ,沈 　辉 ,刘正义 ( 1. 华南理工大学 机械工程学院,广东 广州 　510640 ;2. 中山大学 物理科学与工程技术学院,广东 广州 　510275) 　　【摘 　要】　本文介绍了一系列利用各向同性腐蚀法制备多晶硅绒面的试验 ,腐蚀液为硝酸和氢氟酸的混合溶 液 ,添加了醋酸稀释液是为了降低反应速度 。通过优化各种参数 ,获得了腐蚀速度平缓 ,适合工业生产的多晶硅绒 面 ,绒面分布均匀 。随着反应的进行 ,腐蚀坑由微裂纹状转变为气泡状 ,经反射率测定表明绒面达到了较好的减反 效果 。 【关键词】　各向同性腐蚀 ;多晶硅 ;酸性腐蚀 中图分类号 :TN304. 1 + 2 ; TN305. 2 　　　　文献标识码 :A Isotropic Texturing of Multicrystalline Silicon 1 1 2 1 GUO Zhiqiu , LIU Xiyun , SHEN Hui , LIU Zhengyi ( 1. college of mechanical engineering , south china university of technology , Guangzhou　510640 , china ; 2. college of physic science technology engineering , sun yatsun university , Guangzhou 　510275 ,china) 【Abstract 】　In this paper , results from investigations of isotropic etching of multicrystalline silicon are introduced. The mixtures contained hydrofluoric and nitric acid , were diluted with acetic acid. Optimized the conditions , textures with slowly and peacefully etching were gained. As the etching proceeding , the surface cracks originating from the wafer were transformed into bubble like holes. The low reflectance rate means the textures can reduce the reflectance. 【Key words】　isotropic texturing ;multicrystalline silicon ;acid etching texture 多晶硅绒面已经成为近几年国内外研究的热点 ,现已 1 　前 　言