熔石英紫外激光初始损伤形态分析.pdfVIP

第 21卷第 7期 强 激 光 与 粒 子 束 Vo1．21。NO．7 2009年 7月 HIGH POW ER LASER AND PARTICLE BEAM S Ju1．，2009 文章编号 ： 1001—4322(2009)07—1027—05 熔石英紫外激光初始损伤形态分析 刘志超， 许 乔， 欧阳升， 罗 晋 (成都精密光学工程研究 中心 ，成都 610041) 摘 要 ： 采取 355nm激光脉冲辐照熔石英样 品，利用 Nomarski微分干涉差显微镜、原子力显微镜和扫 描 电子显微镜观测手段对前后表面产生的损伤点进行 了观察分析 。对前后表面损伤形态做 出详细的描述和分 类 ，从理论上对每种损伤类型产生 的条件与机理做 出推测 。实验结果表 明：l熔石英前表面存在小麻点群损伤和 星状裂纹损伤两种损伤形态 ，横 向尺寸分别为0．8～2．5和 1．O～5．5 m；后表面存在小麻点群损伤、壳状剥离 损伤和火山口3种损伤形态 ，损伤横 向尺寸分别为 0．48～1．33，4～2O和 12～30 m。实验证 明了 1 m尺度 损伤点的产生与再沉积层密切相关 。 关键词 ： 熔石英 ； 紫外激光 ； 初始损伤 ； 损伤形态 中图分类号 ： 0437 文献标志码 ： A 熔石英元件的紫外激光损伤 问题是限制激光器 向高功率发展的主要 因素之一。为了能在科学层面上对 这一问题进行系统的研究，需要对熔石英 的初始损伤情况进行全面的评估。在国外 ，初始损伤形态方面研究在 实验上和理论上都获得 了一些成果 ：在研究激光脉宽对光学元件影响时，c．W．Carr将熔石英初始损伤形态 明确分为 hazelet，mussel和 pansy3类_】；M．D．Feit和 A．M．Rubenchik则在建立损伤模型时把初始损伤 划分为脆性断裂和塑性形变口 ；通过损伤密度模型的建立，M．J．Matthews和 F．Rainer对大 口径激光光束 下初始损伤的形态和分布进行了研究[4]。近年来国内有关熔石英紫外激光损伤的研究工作虽然不少 ，但对于 其初始损伤形貌的系统研究还鲜见报道 ¨6]。为此 ，本文采取 355nm紫外脉冲激光以 1一on一1方式辐照熔石英 样品表面，通过 Nomarski微分干涉差显微镜 、原子力显微镜 (AFM)和扫描 电子显微镜 (SEM)3种观察手段对 熔石英样品的前后表面损伤情况统计分类 ，研究 了熔石英初始损伤形貌的特点和成 因。 1 实验设备及样 品制备 本实验是在小El径激光阈值测量平 台上完成的(图 l-)。该平台由三波段 Nd：YAG激光器 、He—Ne准直激 光器、355nm 高反射镜、3m聚焦透镜 、分光光 pick-offwedge 楔 、3维数控精密移动平 台、能量计和 CCD相 机等组成。 实验采用样 品规格为 40mm 的 JGS1熔 石英材料，通过抛光清洗后达 到表面均方根粗 糙度 RMS值优于 1nm。样 品处于激光聚焦焦 点处 ，脉冲触发和样 品平 台移动可 由计算机控 制 ，激光脉冲能量大小 由激光器 电源设定 的电 压大小确定 。通过光束质量分析仪测得激光焦 Fig．1 Schematiclayoutofsmallopticdamagetestsystem 斑有效面积 A 一0．23mm ，并认为在实验过 图 1 小 口径损伤测量平台示意图 程中此值恒定不变。355nm波长时激光脉冲脉宽为 3ns。样品损伤情况则 由CCD相机在线观测做出判断。 2 实验过程 实验采用 1一on一1的方式在每块样 品上辐照间距为 2mm 的 10×1O点阵。据以往实验经验 ，熔石英 的 1一 on一1零几率损伤 阈值在 7～9J／cm 。由于本实验需要获取各个能量段可能存在 的各种初始损伤形态 ，所以在 能量段的选择上采取了整体均匀、局部细化的分布原则。实际中采用的激光脉冲能量段为 5～17J／cm。，从最 * 收稿 日期 ：2008—11—12； 修订 日期 ：20